Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619546 zu verkaufen

GASONICS / NOVELLUS Aura 1000
ID: 293619546
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Asher, 6" 1994 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein High-End-Ätzer/Ascher, der in fortschrittlichen Mikrofabrikations- und Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Mit seiner mehrstufigen Architektur bietet GASONICS Aura 1000 eine beispiellose Kombination aus Präzisionssteuerung, hoher Gleichmäßigkeit und Durchsatz. Seine fortschrittlichen Technologien können an die Herausforderungen der modernen Geräteproduktion angepasst werden, einschließlich enger Toleranzen und Gleichmäßigkeit von Merkmalsgröße und Geometrie. Die NOVELLUS Aura 1000 Architektur wurde entwickelt, um die maximale Verarbeitungsflexibilität bei gleichzeitiger Optimierung des Produktionsdurchsatzes zu gewährleisten. Es verfügt über eine mehrachsige mechanische Plattform, die eine stabile und gleichmäßige Prozessumgebung über den gesamten Zyklus mit minimalen Vibrationen bietet. Der motorisierte Antrieb und die Automatisierung ermöglichen die Prozessintegration und die Kontrolle von Rezepten auf hohem Niveau. Integrierte Diagnosen ermöglichen ein schnelles Feedback zur Geräteleistung und -genauigkeit. Aura 1000 bietet eine Vielzahl von Chemikalien und Abscheidungsmaterialien, so dass Benutzer eine breite Palette von Geometrien und anderen Funktionen erstellen können. Es kann auch verschiedene Quellen für Strahlungsenergie und einstellbare Heizplatten unterstützen und bietet eine einzigartige Umgebung, um optimale Prozessparameter zu erhalten. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Substratmaterialien wie Quarz, Siliziumscheiben, Metalllegierungsfolien und organischen Polymersubstraten zu verarbeiten. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist äußerst benutzerfreundlich und verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI). Es kann von jedem webfähigen Gerät aus ferngesteuert werden, und seine integrierte skalierbare Datenerfassungseinheit ermöglicht die Verbindung mit anderen Automatisierungssystemen, Datenbanken und Softwarepaketen. Mit Unterstützung für mehrere Sequenzdateien ermöglicht es die Prozessoptimierung für verschiedene Anwendungen. GASONICS Aura 1000 's Hochgeschwindigkeits-motorisierte Wafer-Spannmaschine, zusammen mit fortschrittlichen Schutzmaßnahmen, helfen, Zykluszeiten zu reduzieren, so dass das Werkzeug höhere Erträge bei schnelleren Geschwindigkeiten zu produzieren. Seine mehreren Prozesskanäle und optionalen In-situ-Bilderzeugungsanlagen ermöglichen die gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Substrate. Die fortschrittliche Automatisierung sorgt für konsistente Ergebnisse und optimale Leistung. NOVELLUS Aura 1000 ist ideal für die Herstellung modernster Nano- und Mikrofertigungen. Mit seinen High-End-Funktionen und der intuitiven Benutzeroberfläche bietet es eine beispiellose Mischung aus Präzisionssteuerung und hohem Durchsatz, wodurch Benutzer die Herausforderungen moderner Halbleiterprozesse steuern können.
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