Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293621802 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage zu ätzen, schneiden und andere Prozesse. GASONICS Aura 1000 ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschereinheit für die Herstellung, Entwicklung und Forschung von Halbleiterprodukten, die in der Lage ist, Wafer bis zu 8 Zoll thermisch zu verarbeiten und eine breite Palette von Technologien wie HF-Ätzen, sequentielles Ätzen, 2-Kanal-Ätzen und Kombinationen zu verwenden. NOVELLUS Aura 1000 verwendet eine Reihe von Gasverteilungssystemen, um die Genauigkeit und Konsistenz von harten Ätzprozessen zu verbessern. Dies ermöglicht eine feinere Auflösung und ein saubereres Ätzprofil über größere und gleichmäßige Größen von Halbleitersubstraten. Das Gerät ist so konzipiert, dass eine präzise Temperaturregelung der Ätz-/Ascherkammer durch präzise Temperatureinstellungen gewährleistet ist, so dass präzise Ätzvorgänge erzielt werden können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine fortschrittliche Wärmestrahl-Belüftungsmaschine, die eine gleichmäßige Kühlung von Prozesskammer und Substrat während des gesamten Ätzprozesses ermöglicht und eine Überhitzung des Substrats und Energieverschwendung verhindert. Aura 1000 enthält auch ein Gasmanipulationsmodul, das den Gasdruck und die Zusammensetzung in einer Vielzahl von Gasen innerhalb der Ätz-/Ascherkammer einstellen kann. Auf diese Weise kann der Anwender die Gaszusammensetzung im Flugzeug feinjustieren und sicherstellen, dass Ätz-/Ascher-Prozessparameter über die Dauer der Verarbeitung des Substrats konstant bleiben. Neben seinen Ätz-/Aschefunktionen bietet GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 eine Reihe weiterer nützlicher Funktionen. Seine Hochspannung, Hochleistungspulsgenerator ist dazu fähig, energiereiche Pulse zu schaffen, die Schaffung von harten, haltbaren und dichten etch/asher zu ätzenden Schichten berücksichtigend. Es verfügt außerdem über ein Steuerwerkzeug für Tiefätzprozesse, das eine genaue Steuerung tiefer Ätztiefen und gleichmäßiger Ätzprozesse über das gesamte Substrat ermöglicht. Das Gerät bietet auch eine Reihe von Optionen für die Automatisierung der Prozesszeit/-temperatur, sodass Benutzer ihren Ätz-/Ascheprozess an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. GASONICS Aura 1000 bietet eine Reihe von Ätz-/Ascher-Fähigkeiten und ist damit ein wertvolles Etch/Ascher-Asset für Produktion, Entwicklung und Forschung. Das Spektrum an Prozessen, Steuerungsoptionen und Gasmanipulationsfunktionen bietet Anwendern ein vielseitiges und leistungsstarkes Ätz-/Aschermodell, das in der Lage ist, konsistente und zuverlässige Ergebnisse auf einer Vielzahl von Substraten zu erzielen.