Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746 zu verkaufen
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ID: 9105746
Wafergröße: 4"-6"
Plasma ashers, 4" - 6"
Option available: Dry pumps
208 V, 50 Hz, 20 A, 3Ph.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der die etablierten Stärken von GASONICS und NOVELLUS zu einem robusten, hochdurchsatzreichen Werkzeug vereint. Unter Verwendung der GASONICS/NOVELLUS Low Temperature Reactive Ion Etching (RIE) Technologie, zusammen mit GASONICS Hochtemperatur-Prozesstechnologie, kann GASONICS Aura 1000 eine breite Palette von Materialien verarbeiten, so dass es eine ideale Wahl für jede Forschung und Entwicklung oder kommerzielle Anwendung. NOVELLUS Aura 1000 kann bei einem breiten Temperaturbereich (bei Bedarf bis 700 ° C) Ätzungen durchführen, die ein qualitativ hochwertiges Ätzprofil und einen hohen Durchsatz gewährleisten. NOVELLUS RIE System besteht aus einer niedrigen Temperatur, hochinduktiven Spule und Steuerelektronik, die eine präzise Temperatur-, Druck- und Ätzflussregelung ermöglicht. Dies trägt dazu bei, ein konsistentes Ätzprofil und eine Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten. Aura 1000 bietet auch eine erweiterte Ätzfähigkeit über GASONICS/NOVELLUS Richtmikroshower RIE. Dieses Verfahren ermöglicht eine präzise, gerichtete Ätzung sowohl in vertikalen als auch in horizontalen Prozessen mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit. Beispielsweise können rückseitige Ätzprozesse gesteuert werden, um die erforderliche Tiefe, Lücke und Form- und Formgröße zu gewährleisten. Die Kombination aus GASONICS RIE und NOVELLUS Richtmikroshower-Technologie ist sowohl im Batch- als auch im Single-Wafer-Modus verfügbar und somit ein ideales Werkzeug für Forschungs- und Produktionsprozesse, die Richtätzen erfordern. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Plug-and-Play-Tool mit einer offenen Plattform, die es hochgradig konfigurierbar macht. Eine breite Palette von Zubehör und Optionen sind auch verfügbar, um die Anpassung des Systems an Ihren Workflow braucht eine Brise zu machen. Es wurde entwickelt, um die Vorteile von GASONICS/NOVELLUS und GASONICS führender Technologie zu nutzen und kann mit Ihren Anwendungen wachsen. GASONICS Aura 1000 ist ein zuverlässiger und vertrauenswürdiger Ätzer und Ascher, der das Beste aus beiden Welten vereint. Die fortschrittliche Ätzfähigkeit, hochpräzise Temperatur- und Druckkontrolle, kombiniert mit robusten Hochdurchsatz-Fähigkeiten, machen dies zu einem optimalen Werkzeug für Wissenschaftler und Ingenieure, die eine vielseitige und effiziente Prozesslösung suchen.
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