Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine Goliath-Klasse von Ätzsystemen, die den modernsten Anforderungen lithographischer Prozesse gerecht werden. GASONICS verfügt über eine einzige, grabenartige Kammer, die präzise computergesteuerte HF-Heizelemente enthält, um eine ausgezeichnete Genauigkeit und Prozessgleichmäßigkeit zu ermöglichen. Die Etch-Kammer auf GASONICS Aura 1000 ist aus mit einer Hochleistungskeramik beschichteten Materialien auf Silikon- und Quarzbasis aufgebaut, die die Kammer vor Korrosion und Partikeln schützen. Im Inneren ist die Kammer mit einem integrierten Rotator ausgestattet, der einen gleichmäßigen Heizvorgang für das gesamte Substrat ermöglicht. NOVELLUS Aura 1000 enthält auch eine fortschrittliche mechanische Vakuumsteuerung, um eine Vakuumumgebung in der Kammer zu etablieren. Dies ermöglicht in Verbindung mit den zusätzlichen HF-Heizelementen ein gleichmäßiges Substratprofil, ohne die Strukturen der Substratmaterialien zu beeinflussen. Aura 1000 ist auch mit einem fortschrittlichen System zur Überwachung des Ätzprozesses ausgestattet, der als Smart Process Control bekannt ist. Diese Einheit dient zur Messung und Überwachung der Ätzumgebung in der Kammer und kann die Prozessaspekte wie Temperatur, Druck und HF-Frequenzpegel genau messen. Die Maschine ist auch so programmiert, dass Anpassungen an spezifische Anforderungen von Prozessanwendungen vorgenommen werden können. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 verfügt zudem über ein hochpräzises Werkstofflieferwerkzeug, das eine präzise Materialzufuhr direkt in die Ätzkammer ermöglicht. Es wird standardmäßig mit einer Präzisionstransferkammer ausgestattet, die eine saubere und hochpräzise Materiallieferung und einen hohen Substratdurchsatz gewährleistet. Als zusätzliche Vorsichtsmaßnahme enthält die Maschine auch eine Hochdruckrückführung, die verhindert, dass luftgetragene Partikel in ihre Kammer gelangen. GASONICS Aura 1000 ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, von Silizium und Quarz bis zu Metallen und Keramiken. Es ist programmierbar, Parameter anzupassen, um ein optimales Ätzen verschiedener Materialien zu ermöglichen, einschließlich der anspruchsvollsten Strukturen wie Mikrovias, Gräben und Maskenschichten. NOVELLUS Aura 1000 ist ein unschätzbares Werkzeug für jede Ätz- und Aschermaschine und kann die Effizienz und Genauigkeit von Prozessen erheblich steigern. Ob empfindliche Strukturen oder harte Legierungsmaterialien, diese Maschine ist eine leistungsfähige und zuverlässige Wahl für das Ätzen.