Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine Ätzausrüstung der nächsten Generation, die für die Produktion von einzigartigen, hochauflösenden Ätzfunktionen auf Siliziumscheiben entwickelt wurde. Es verfügt über eine fortschrittliche Direct-Drive-Plattform, die präziseres Feature-Etching und eine vereinfachte Prozessinfrastruktur ermöglicht. Es bietet eine bessere Kontrolle über die Ätzparameter, schnellere Zykluszeiten und überlegene Folienqualität, was zu weniger Prozessfehlern führt. GASONICS Aura 1000 ist mit der neuesten Generation von Ätzhardware ausgestattet, die auf einer GASONICS-praxiserprobten CVD-Architektur basiert und mit einer Vielzahl von Ätzmodulen konfigurierbar ist. Die Ätzplatte wird von einem Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) -Array von Ätzgeneratoren angetrieben, das eine hochgenaue Strukturierung von schmalen Gräben und anderen erweiterten Ätzfunktionen ermöglicht. Zusätzlich unterstützt die Plattform eine Schieberegisterarchitektur, um die mit dem Bewegen des Wafers zwischen Ätzschritten verbundene Overhead-Zeit zu reduzieren. NOVELLUS Aura 1000 behält eine zuverlässige Ätzleistung bei, indem ein fortschrittlicher Rezeptoptimierungsalgorithmus angewendet wird, der die Ätzparameter automatisch an die Materialeigenschaften des Wafers anpasst und eine konstante Ätzleistung gewährleistet. Diese Funktion ist besonders nützlich, wenn Sie mit einzigartigen Folien oder mehrschichtigen Strukturen arbeiten. Aura 1000 ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer geschlossenen Kammer, einem Sicherheitsabschalter und der neuesten Verriegelungstechnologie. Es ist auch so konzipiert, dass es gegen Stromstöße und andere schädliche Stromprobleme beständig ist. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem Abgasfilter ausgestattet, um die Menge der im Prozessbereich vorhandenen Partikel zu reduzieren. GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 kann bis zu acht Oblaten parallel bearbeiten, und es ist entworfen worden, um das letzte in Hochleistungsnachrichtenprotokollen auszunutzen, es eine ideale Wahl für Systeme machend, die hohen Durchfluss und Wiederholbarkeit verlangen. Es ist auch kompatibel mit branchenüblichen Tools und Infrastruktur, einschließlich Automatisierungssystemen. Insgesamt ist GASONICS Aura 1000 eine branchenführende Ätzmaschine mit hoher Genauigkeit, schnellen Zykluszeiten und einer vereinfachten Prozessinfrastruktur. Mit seinen zuverlässigen Leistungs- und Sicherheitsmerkmalen ist NOVELLUS Aura 1000 eine ideale Wahl für Halbleiterätzanwendungen.