Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für fortschrittliche Lithographieverfahren, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) verwendet werden. GASONICS Aura 1000 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Anwendungen und Prozessen wie High-End-Gate-Oxidation, chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Ionenimplantation zu unterstützen. Es verwendet einen mehrstufigen Ätz-/Ascheprozess zur präzisen Prozesskontrolle und zur Verbesserung der Ätzqualität. NOVELLUS Aura 1000 wird in einem robusten, modularen und skalierbaren Design montiert, das eine zuverlässige Arbeitsumgebung und langfristige Ausstattungssicherheit bietet. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm und einem Dickenbereich von 0,35 mm zu verarbeiten. Das System verfügt über eine mehrstufige Architektur, die eine präzise Prozesssteuerung und eine verbesserte Ätzqualität bietet. Es verfügt über automatisierte Deckelhebe-, Be- und Entladesysteme mit voller Regal-zu-Regal-Gleichmäßigkeit. Aura 1000 bietet die Möglichkeit, hohe Auflösung und hohe Seitenverhältnisse bei minimalem Seitenwandschaden zu erzielen. Es ist mit mehreren fortschrittlichen Komponenten ausgestattet, darunter einem hochauflösenden Scanner, einem fortschrittlichen Mikroprozessor und einer Präzisionssputterpistole. Diese Komponenten sind so konzipiert, dass sie extrem präzise Ätzfunktionen bereitstellen, einschließlich der Kontrolle über den feinen Funktionsunterstützungsabstand und die Linienbreite. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist mit einer High-Zone Scan Control (ZSC) Einheit zur präzisen Ätzung kleiner Merkmale ausgestattet. Es hat auch schnelle Scan-Fähigkeit für schnelle Ätzraten. Die fortschrittliche Mikroprozessorfunktion der Maschine gewährleistet die schnelle Implementierung von Ätzprogrammen. Die Ultra-High-Speed-Scan-Steuerung sorgt für eine präzisere Ätzung kleiner Funktionen. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über leistungsstarke Reinigungstechnologien, wie z.B. ein hochdruckzerstäubtes deionisiertes Wasserbad, das eine effiziente und effektive Reinigung von Nachätzsubstraten ermöglicht. Zusammenfassend ist GASONICS Aura 1000 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für High-End-Lithographieverfahren. Es ist ein modulares und skalierbares Asset, das Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm und einem Dickenbereich von 0,35 mm verarbeiten kann. Das Modell ist mit mehreren fortschrittlichen Komponenten wie einem hochauflösenden Scanner, einem fortschrittlichen Mikroprozessor und einer Präzisionssputterpistole ausgestattet. Darüber hinaus verfügt es über schnelle Scan-Fähigkeit für schnelle Ätzraten, Ultra-High-Speed-Scan-Steuerung für feine Funktion Unterstützung Abstand und Linienbreite, fortschrittliche Reinigungstechnologien, und eine High-Zone-Scan-Control (ZSC) -Ausrüstung für das präzise Ätzen von kleinen Funktionen.