Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Industrieklasse Ätzer/Ascher, entworfen für Nanomuster empfindliche Substrate. Es verwendet eine patentierte Vakuumtechnologie, um eine präzise Steuerung von Ätzraten, Tiefe, Gleichmäßigkeit und Funktionsausrichtung von Wafer-Batch zu Batch zu ermöglichen. Der Ätzer/Ascher ist mit einer ultrahoch präzisen Plasmaquelle zum präzisen Ätzen von nanoskaligen Mustern ausgestattet. Die Quelle verwendet ozonfreies Heliumgas und kann eine Ätzrate von bis zu 20 nm pro Minute erreichen. Aufgrund seiner hohen Präzision kann das Gerät mit einer Gleichmäßigkeit von 0,02 nm Merkmalsgrößen in der Größenordnung von 2 nm erreichen. Es umfasst eine ganze Reihe von Hardware- und Softwarefunktionen, die darauf abzielen, die Betriebskosten gering zu halten und den Durchsatz zu maximieren. Netzteile beinhalten manuelle und Fernbedienungsoptionen. Es gibt eine Auswahl von zwei Substratkarten - manuell und automatisch -, mit denen Benutzer die gewünschten Funktionen auswählen können. GASONICS Aura 1000 ist in der Lage, komplette Tests durchzuführen, einschließlich Ätzrate und Profilkontrolle. Zu den Optionen, die dem Benutzer zur Verfügung stehen, gehören Filmabscheidung, Waferbildgebung, Vorätzgaskonditionierung und andere hochmoderne Optionen, die ein genaueres Ätzen kleinerer Merkmale ermöglichen. Das Gerät verfügt auch über integrierte Prozessfehlerbehebungsfunktionen, die Sie bei der Verbesserung des Ätzprozesses beraten können. Das Gerät verfügt über eine intuitive und benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine interaktive Umgebung für Benutzer zur Einrichtung und Überwachung von Prozessen bietet. NOVELLUS Aura 1000 verfügt auch über eine Reihe von Diagnosetools, mit denen Benutzer Probleme schnell diagnostizieren und beheben können. Das Gerät verfügt auch über Schnellwechselrobotik, die es Anwendern ermöglicht, Wafer mit minimalem Bedieneingriff neu zu laden und zu entladen. Es hat auch Unterstützung für eine komplette Palette von Wafer Formen und Größen, so dass Benutzer die perfekte Musterung Anforderungen zu erreichen. Insgesamt ist Aura 1000 ein leistungsstarkes Ätzwerkzeug, das Anwendern erstklassige Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Es ist für den Einsatz in F&E und kleinen Produktionsumgebungen konzipiert, so dass es ideal für eine Vielzahl von Mikroelektronik-Anwendungen ist.