Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung und anderen komplizierten Prozessen eingesetzt wird, die eine präzise, wiederholbare Steuerung erfordern. Es ist ein Hochdurchsatz, fortschrittliche Ascheausrüstung für die Verarbeitung von Aluminium und anderen Materialien auf 200mm und 300mm Wafern. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben und bietet überlegene Leistung in Bezug auf Durchsatz und Resist-Rückstandsreduktion. GASONICS Aura 1000 verfügt über eine fortschrittliche, patentierte Ätztechnologie, die Aluminium und andere Materialien genau und präzise ätzt. Es verfügt über einen skalierbaren, durchsatzstarken, gleichmäßigen Ätzprozess, der in der Lage ist, eine breite Palette von Wafergrößen zu handhaben. Durch die Kombination von asymmetrischen und symmetrischen Beschichtungen können Substrate ohne Hinterschneidung und innerhalb enger Prozesstoleranzen geätzt werden. Das Zwei-Kammer-System verfügt zudem über individuelle Spann- und Aschefunktionen, wodurch Prozesse nach Bedarf feinjustiert und gesteuert werden können. NOVELLUS Aura 1000 enthält auch ein modularisiertes Design für eine schnelle und einfache Installation und Wartung. Aura 1000 unterstützt eine breite Palette von Einheitskurven, Leistungsstufen und Kammerkonfigurationen, um den Anforderungen verschiedener Prozesse gerecht zu werden. Es verfügt über eine 100x niedrigere Durchsatzrate (Kosten- und Zeitersparnis) im Vergleich zu älteren Systemen und kann kritische Dimensionsschwankungen effektiv um bis zu 50% reduzieren. Der durchsatzstarke, gleichmäßige Ätzprozess bietet eine verbesserte Kontrolle über die Gleichmäßigkeit der Waferdicke und ermöglicht wiederholbare, produktionsfertige Ergebnisse. Die Maschine verfügt zudem über eine breite, intuitive Benutzeroberfläche zur Programmierung, Überwachung und Weiterentwicklung von Prozessabläufen. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 verwendet fortschrittliche, proprietäre Handhabungstechnologie und fortschrittliche Klimakontrolle, um konsistente, überlegene Ergebnisse zu gewährleisten. Es bietet überlegene Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit bei Ätz- und Strippprozessen und sorgt für optimierte Prozesse. Die fortschrittliche Wafer-Handling-Technologie bietet die Flexibilität, ohne zusätzliche Ausrüstung einfach zwischen Ätzen und Aschen zu wechseln. Die temperaturgesteuerten Kammern sorgen zudem für eine verbesserte N2-Reinheit und höhere Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus verfügt GASONICS Aura 1000 über erweiterte Selbstdiagnosefunktionen und detaillierte Berichte, um eine optimale Leistung des Tools zu gewährleisten. Es verwendet fortschrittliche Sensoren und eine enge Steuerung der Ätzumgebung, um sicherzustellen, dass die Parameter erfüllt sind. Die erweiterten Automatisierungsoptionen ermöglichen es dem Benutzer auch, Anpassungen im Handumdrehen vorzunehmen, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Insgesamt ist NOVELLUS Aura 1000 ein leistungsstarker und hocheffizienter Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, eine breite Palette von Materialien zu handhaben. Es ist eine kostengünstige Lösung, die wiederholbare und genaue Ergebnisse für eine Vielzahl von Prozessen liefert. Es ist auch einfach zu installieren und zu warten, so dass eine zuverlässige und langfristige Leistung gewährleistet ist.