Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400 zu verkaufen

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ID: 9242400
Asher Throttle valve controller & MFCs included Does not include pump.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Hightech-Ätzer/Ascher mit einem breiten Anwendungsspektrum. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und ist für die Arbeit mit minimalem Bedienertraining konzipiert, so dass es komplexe Ätz- und Reinigungsaufgaben auf einfache und effiziente Weise durchführen kann. Die Ausrüstung zeigt eine Niedrigstromspannungskathodenstrahlröhrenplasmaquelle, ihm erlaubend, bei unterschiedlichen Temperaturen und Tiefen zu ätzen, während sie Gleichförmigkeit aufrechterhält. Der Bildschirm ist ein Vollfarben-LCD und ist direkt mit dem Bordcomputer des Systems verbunden, so dass der Benutzer die Ätzparameter leicht steuern kann. GASONICS Aura 1000 verfügt auch über eine integrierte Bonder/Debonder-Einheit, die eine schnelle und genaue Befestigung und Entfernung von Wafern ermöglicht. Dieses Gerät ist in der Lage, eine schnelle Batch-Verarbeitung, was bedeutet, dass es Hunderte von Wafern in einer Charge ätzen, waschen und reinigen kann, was den Durchsatz erheblich erhöht. Die Plasma-Guard-Maschine bietet eine ausfallsichere Sekundärreinigungsstufe, um eine bessere Prozesskontrolle zu gewährleisten. NOVELLUS Aura 1000 hat einen zweistufigen physikalischen Ätzprozess: reaktives Ionenätzen und chemisches Plasmaätzen. Dadurch erreicht der Anwender eine präzise Ätztiefe sowie präzise Prozesszeiten. Das Ätzverfahren ermöglicht auch eine hervorragende Kontrolle der Schichtverdünnung, wichtig bei der Erstellung von mehrschichtigen Photoresist- oder Kupferstrukturen. Das Gerät ist für eine lange Lebensdauer gebaut und erfordert eine minimale Wartung. Der Zugriff auf das Tool erfolgt über die Benutzeroberfläche, komplett mit Fehlerbehebungs- und Diagnosefunktionen, die eine schnelle und genaue Arbeit ermöglichen. Insgesamt ist Aura 1000 eine intuitive, High-End-Ätzanlage, die für Effizienz, Genauigkeit und Komfort entwickelt wurde. Dank seiner vielfältigen Funktionalität und Automatisierung ist es eine gute Wahl für Ätz- oder Reinigungsanwendungen und bietet eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Wafer- und Komponentenprozessen.
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