Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9280985 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Ätzer/Ascher, der eine überlegene Prozessflexibilität sowie eine hervorragende Ausstattungsleistung bietet. Das System verfügt über eine Produktionskapazität von 6 "Wafern pro Stunde (wph) und ist in der Lage, Wafer mit Größen von 4" bis 6 "zu ätzen. Das Tool bietet eine unschätzbare Option für Hersteller, die größere Wafer bearbeiten müssen. Es bietet Platz für bis zu sechzehn (16) Prozesskammern, die Kunden eine Reihe von Prozessoptionen aus verschiedenen Rezepten bieten. GASONICS Aura 1000 ist ein leistungsstarkes, leistungsfähiges Ätz-/Steigerungswerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen. Es kombiniert fortschrittliche Technologie mit benutzerfreundlicher Ergonomie für vereinfachte Bedienung und Wartung. Dank der drei Rezepturen, die in jede Prozesskammer integriert sind, bietet das Tool zudem eine überlegene Prozessflexibilität. Darüber hinaus verfügt es über innovative Funktionen wie Prozessintelligenz, automatisierte Diagnose und automatische Kalibrierung. Die Einheit hat die Fähigkeit, verschiedene Halbleitermaterialien, einschließlich Silizium, Germanium und verschiedene andere III-V-Verbindungen zu ätzen. NOVELLUS Aura 1000 hat die Fähigkeit, optimale Ergebnisse zu liefern und gleichzeitig die Betriebskosten zu senken. Es wurde mit einer fortschrittlichen, produktionsorientierten Steuerungsmaschine entwickelt, um einen effizienten, zuverlässigen und kostengünstigen Ätzprozess zu gewährleisten. Das Tool verwendet eine multi-effektive multi-mode, mehrspurige Ätzplattform, zusammen mit einfach zu bedienenden Rezept-Programmierung. Das gesamte Asset ist auch darauf ausgelegt, den Prozess kontinuierlich zu überwachen und Anpassungen anhand der Rückmeldung des Sensormodells vorzunehmen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzprozess konsistent und im Einklang mit der Kundenspezifikation ist und eine hervorragende Prozessleistung und Durchlaufzeit bietet. Darüber hinaus bietet Aura 1000 eine vollständige werkseitige Überwachung und Prozesssteuerung mit der Möglichkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu bearbeiten. Das Tool entspricht ECD und anderen relevanten Industriestandards und bietet eine ideale Lösung für effiziente und präzise Ätzprozesse. Das Gerät ist mit einem integrierten Partikelhandhabungssystem ausgestattet, das sicherstellt, dass die Benutzerumgebung nicht kontaminiert und das Gerät sauber gehalten wird. Insgesamt ist GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 eine leistungsstarke, benutzerfreundliche und kostengünstige Ätz-/Aschemaschine, die den Herstellern ein kostengünstiges, produktionsorientiertes Werkzeug für eine breite Palette von Halbleiterätzanwendungen bietet.