Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336 zu verkaufen
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es ist sowohl kostengünstig als auch zuverlässig konzipiert und bietet eine zuverlässige und präzise Plattform für die Verarbeitung von Substraten in einer Vielzahl von Prozessen. GASONICS Aura 1000 verfügt über eine patentierte Auto-Polarity Conversion (APC) Technologie für schnelle und genaue Musterung. Diese Ausrüstung ermöglicht eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu anderen Systemen und ist in der Lage, Systeme mit hohen Seitenverhältnissen und verschiedenen Substraten zu ätzen. Dieser Ätzer verwendet ALD, Plasma Clean und Chemical Vapor Deposition (CVD) -Prozesse für Musterauswahlprozess, vertikale Ausrichtungsformelemente und True Step-Height Restoration. NOVELLUS Aura 1000 verwendet ein Starring Centricity Substrate Transfer System zur präzisen Handhabung und Positionierung von Substraten. Diese Einheit ermöglicht eine präzise Beladung, Positionierung und Rotation von Substraten. Weitere Funktionen sind Auto-Leveling, Auto-Wafer Mapping, S-Stage Expansion und skalierter Verarbeitungsdurchsatz. Darüber hinaus verfügt dieser Ätzer auch über eine integrierte Substratreinigung mit Ultraschall- und Waferreinigungstechnologien. Dies ermöglicht eine effiziente und präzise Reinigung der Substratoberfläche. Darüber hinaus verwendet die Plasmamaschine von Aura 1000 eine geringe Partikelfiltration, was den Aufbau von Partikeln reduziert, die dem Gerät möglicherweise schaden können. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 verfügt über ein hochintegriertes Bedienwerkzeug, das eine Echtzeitüberwachung von Temperaturen, Drücken und anderen Prozessparametern bietet. Es gibt auch eine Vielzahl von Prozessrezepten, Profilen und Einstellungen, die dem Bediener Flexibilität bieten, um den Ätz- und Ascheprozess anzupassen. Dieser Ätzer ist einfach zu bedienen und zu warten, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche und einer umfassenden integrierten Dokumentation. Insgesamt ist GASONICS Aura 1000 ein fortschrittlicher, zuverlässiger und kostengünstiger Ätzer für die Präzisionshalbleiterherstellung. Das technologisch fortschrittliche Design, die integrierte Prozess- und Substrathandhabung sowie die sorgfältigen Reinigungsverfahren bieten ein effizientes und präzises Ätz- und Aschegut für moderne Halbleiterbauelemente.
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