Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine High-End-Ätz-/Ascher-Ausrüstung für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen wie Deep-Graben-Kontaktmuster und Flash-Speicher. Das System verwendet proprietäre fortschrittliche Ätztechnologien, einschließlich Kupfer und vormetallisches dielektrisches Nassätzen, um hohe Erträge mit ausgezeichneter elektrischer Leistung zu erzeugen. GASONICS Aura 1000 verfügt über drei konfigurierbare Prozessmodule mit einer großen Auswahl an fortschrittlichen Ätzchemien. Der Bearbeitungskopf der Einheit kann auf die spezifischen Ätzanforderungen jedes Materials und Merkmals zugeschnitten werden. Es verwendet leistungsstarke Automatisierungssoftware, um abstimmbare Ätzparameter zu ermöglichen und fehlerfreie Prozesse auszuführen. Die Maschine kommt mit einem High-End-Drehfutter ausgestattet, um verschiedene Wafergrößen aufzunehmen, mit der Fähigkeit, automatisch zwischen den verschiedenen Substraten zu wechseln. Es ist auch in der Lage, sowohl planare als auch 3D-Strukturen wie Kupferpfeiler und TSV-Stapel zu handhaben. Einer der großen Vorteile von NOVELLUS Aura 1000 ist die Fähigkeit, große Mengen an Substraten in einem einzigen Arbeitsgang zu verarbeiten. Im Vergleich zu anderen Ätzsystemen kann Aura 1000 den Waferdurchsatz erhöhen und durch die gleichzeitige Handhabung von bis zu 24 Wafern Zeit sparen. Neben seinen Verarbeitungsfähigkeiten verfügt GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 auch über fortschrittliche Überwachungssysteme, um eine gleichbleibende Leistung und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Das Tool umfasst fortschrittliche Messtechnik-Tools, um die Ätzraten kontinuierlich zu messen und Asset-Parameter für eine optimale Prozesssteuerung anzupassen. Insgesamt bietet GASONICS Aura 1000 eine ideale Plattform zum Ätzen und Veraschen fortschrittlicher Funktionen und Strukturen. NOVELLUS Aura 1000 bietet eine umfassende Palette von Ätzfunktionen und überlegener Prozesskontrolle und kann dabei helfen, die Produktivität und den Ertrag von Produkten zu verbessern und gleichzeitig zuverlässige und kostengünstige Prozesslösungen bereitzustellen.