Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9392786 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Ätzer/Ascher, der hohe Produktivität, geringe Wartung, mittleren bis hohen Durchsatz und konsistente Ergebnisse bietet. Zu den Kernkomponenten der Maschine gehören eine Ätzkammer mit einem Hochleistungs-HF-Generator und einer Niederdruckumgebung sowie eine Aschekammer mit Hochdruckplasma- und Mikrowellengeneratoren. Die Maschine ist in der Lage, verschiedene Materialien wie InP, GaAs, Si und SiGe zu ätzen und zu aschen. Die Hauptkomponenten der Kammer sind die Prozesskammer, Endbell, HF-Quelle, HF-Anpassungseinheit, IGBT Match, Vakuum-Ausrüstung, Toploader, Faltenbalg, Ladeschloss und Auspuffanlage. Verschiedene Komponenten der HF-Quelle umfassen RF-Generator, RF-Anpassungseinheit, IGBT Match, RF-Brenner und RF-Blocker. Die Mikrowellenquelle besteht aus einem Magnetron für den Aschevorgang und einem Hochleistungsmagnetron für den Ätzvorgang. GASONICS Aura 1000 ist eine kostengünstige Ätz-/Ascheinheit, die 200-300 Wafer bis zu einem Durchmesser von 8 Zoll verarbeiten kann. Es ist für mittleren bis hohen Durchsatz ausgelegt und bietet ein breites Spektrum an Ätz- und Ascheprozessen. Zum Beispiel ist es in der Lage, Deep Reactive Ion Etching (DRIE), Plasma Immersion Ion Etching (PIIE) und Plasma unterstützt Oxidation Asche. Die Prozesskammer ist mit einer Reinigungsanlage für Nanopartikel ausgestattet, um partikelfreie Substrate zu gewährleisten. Es erleichtert auch wiederholbare und zuverlässige Temperaturregelung, um eine optimale Prozessdynamik zu gewährleisten. Diese Maschine ist auch mit der OptiSelect-Software ausgestattet, die dem Benutzer hilft, die besten Ätz- und Ascheprozesse auszuwählen, um die gewünschte Leistung und Ergebnisse zu erzielen. Um optimale Prozessergebnisse zu gewährleisten, unterstützt NOVELLUS Aura 1000 sowohl die konventionelle Prozessüberwachung als auch die automatische Prozessoptimierung. Dazu gehören Überwachungsparameter wie Ätzselektivität, Ätzrate, KE-Größensteuerung, Spaltabstand und Maskengleichförmigkeit. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, Prozessdrift vorherzusagen und zu erkennen, wodurch signifikante Prozessvariationen vermieden werden. Insgesamt ist Aura 1000 ein idealer Ätzer/Ascher für Anwendungen mit mittlerem bis hohem Durchsatz. Es ist hocheffizient, einfach zu bedienen und liefert zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse. Die Maschine ist auch mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen wie einer Funkenerkennungsmaschine ausgestattet, um eine sichere Prozessumgebung zu gewährleisten.