Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Ätzer und Ascher, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Sein einzigartiges physisches Design ist ideal für den Einsatz in engen und überfüllten Prozesslinien, da es eine kleinere Stellfläche hat als viele seiner Wettbewerber. Die Maschine verfügt über fortschrittliche Optik, Bilderfassung und verbesserte Robotersteuerungen, die es der Ausrüstung ermöglichen, die Verarbeitungserträge deutlich zu erhöhen. Darüber hinaus verfügt es über eine breite Palette von automatisierten Funktionen, einschließlich der Be- und Entladung von Wafern, Gaslieferung und -ablagerung sowie Waferausrichtung und -musterung. Diese einzigartige Kombination aus effizientem Design und zuverlässiger Verarbeitung macht GASONICS Aura 2000 zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung. Die Maschine ist mit einem speziellen FLIS-System (Fast-Track Laser Image Scanning) ausgestattet, das in der Lage ist, die gewünschten Muster auf dem Wafer schnell und genau zu erkennen. Diese Einheit ermöglicht eine extrem hohe Ätzgenauigkeit und ermöglicht eine wesentlich höhere Prozessflexibilität. Darüber hinaus ermöglicht der optische Multiplexer der Maschine, bis zu acht gleichzeitige Ätzaufgaben durchzuführen, den Durchsatz zu erhöhen und die Fähigkeiten der Maschine zu maximieren. Abhängig von den gewünschten Ätzparametern kann die Maschine für eine Vielzahl von Prozessarten verwendet werden, einschließlich Linienbreitenskalierung, Metallmusterung, Metallschichtabscheidung und kundenspezifische Designmusterung. Die NOVELLUS Aura 2000 ist in Bezug auf Gas- und Abscheideförderung mit einem Fünf-Ventil-Gasförderwerkzeug ausgestattet, mit dem die Anlage bis zu 15 Gase gleichzeitig effektiv handhaben kann. Dieses Modell umfasst eine Tankstelle, die eine automatische Spüleinheit und eine Tankleitstelle umfasst, die es Technikern ermöglicht, die Gasströme und -waagen fernzusteuern. Die Maschine verfügt auch über eine komplett automatisierte Handler-Ausrüstung, die hilft, den Durchsatz zu erhöhen und die manuellen Arbeitskosten zu senken. Darüber hinaus ist das System dank seiner fortschrittlichen Robotersteuerung in der Lage, vordefinierte Ätzschichten im Handumdrehen auf dem Wafer zu platzieren. Darüber hinaus ist Aura 2000 mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgelegt. Es enthält eine Doppeldruck-Filtereinheit, die hilft, die Gase zu reinigen, bevor sie in die Kammer, sowie Laser-Sicherheitsverriegelungen und mehrere Sicherheitsvorkehrungen zu verhindern, dass Unfälle durch den Einsatz von Gefahrstoffen passieren. Zusätzlich hat die Maschine sowohl elektrischen als auch Kathodenstrahlschutz für zusätzliche Sicherheit. Insgesamt ist GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 die ideale Wahl für effizientes, zuverlässiges und sicheres Ätzen und Aschen.