Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist eine leichte und tief reaktive Ionenätz-/Aschemaschine, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es wird verwendet, um die Geometrien von Metallisierungsschichten, Kontakten und Vias, anderen Metall- oder Halbleiterstrukturen und Metalllinien zu erzeugen, zu modifizieren und zu optimieren. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug für die ultrafeine Verarbeitung von Metalllinien und -mustern, mit großer Genauigkeit und Maßkontrolle über die Metallstrukturen. Das System verwendet einen Hochgeschwindigkeitsverdampfer, um eine flüssige Metalllösung in einen Dampf umzuwandeln, der der Substratoberfläche zugeführt wird. Die verdampften Metallpartikel werden fein kontrolliert abgeschieden und eine eingebaute Vorreinigungsfunktion hilft, die Photolackhaftung zu optimieren und die Wahrscheinlichkeit von Folgeverunreinigungen zu minimieren. Sobald die Metallschichten gebildet sind, wird das Substrat in den Plasmareaktor gelegt, wo der reaktive Ionenätzprozess durch einstellbare Parameter wie Druck, Leistung und Verweilzeit optimiert werden kann. GASONICS Aura 2000 verfügt über eine überlegene Gleichmäßigkeit und Selektivität und ist damit die perfekte Wahl für die „konische“ Verarbeitung, die es ermöglicht, sowohl dicke als auch dünne Metalllinien im gleichen Muster zu ätzen. Es ermöglicht auch das Ätzen von transparenten Isoliermaterialien, die eine mehrschichtige Metallisierung in dreidimensionalen Objekten ermöglichen. Das Gerät wird von GASONICS TM 10X Betriebsplattform angetrieben, die flexible Prozessrezepte und integrierte Datenprotokollierung bietet, bietet den Betreibern eine große Kontrolle über den Prozess und eine detaillierte Auswertung der erhaltenen Strukturen. Es enthält auch einen 16-Zoll-LCD-Monitor zur komfortablen Steuerung und Überwachung der Maschine. NOVELLUS Aura 2000 ist bekannt für seine überlegenen Ätzergebnisse und Sauberkeit. Seine robuste Konstruktion sorgt für zuverlässigen Betrieb und Stabilität auch bei sehr hohen Temperaturen im Reaktivionenätzprozess. Die extrem niedrige Wartung und Emissionsrate machen es zu einem der umweltfreundlichsten Ätzsysteme, die es gibt.