Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654418 zu verkaufen
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ID: 293654418
Asher, 8"
Single chamber type
Operate copper material
PLC Controller.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Hochleistungs-Plasma-Etcher/Ascher, der für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen konzipiert ist. Dieser Plasmaätzer/Ascher nutzt die Advanced Plasma Technology (APT), um Ätz- und Ascheeigenschaften auf fortgeschrittenen Metallen, einschließlich Aluminium, Kupfer und Titan, bereitzustellen. GASONICS Aura 2000 wurde für High-End-Prozessleistung und Zuverlässigkeit entwickelt und ist der Goldstandard der Branche für Ätz- und Ascheanwendungen. NOVELLUS Aura 2000 verwendet eine einzigartige proprietäre Niederdruck-Plasmaquelle (LPPS), um seine erweiterten Ätz- und Aschefunktionen zu erreichen. Mit dieser Technologie wird die Ätzgeschwindigkeit sowohl durch den Druck als auch durch die Kammer/Quellentemperatur gesteuert. Der Druck und die Temperatur können geändert werden, um die Ätz- und Ascheanforderungen des Kunden zu erfüllen. Der LPPS ermöglicht auch eine hohe Ionendichte, was die Ätzgleichmäßigkeit und Selektivität verbessert. Darüber hinaus verfügt Aura 2000 über ein proprietäres internes HF-System (PIRFS), das eine präzise und effiziente Flexibilität bei Ätzrate und Leistungsstufen ermöglicht. Das PIRFS ermöglicht auch die Überwachung des Prozesses in Echtzeit sowie die Feinabstimmung des Prozesses durch Steuerung einzelner Ätz-/Aschezonen im gesamten Substrat. Dies ermöglicht einen effizienteren Betrieb und eine konsistentere Leistung. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist in der Lage, sehr feine Linienmuster Tiefe und Gleichmäßigkeit zu erreichen, so dass es ideal für die Musterung anspruchsvoller Materialien. Die hohen Ätzraten, Gleichmäßigkeit und Selektivität geben Benutzern die Flexibilität, die optimale Konfiguration zu wählen, um ihre Ätzanforderungen zu erfüllen. GASONICS Aura 2000 verfügt auch über Sicherheitsfunktionen wie Interlocks und verbesserte Diagnostik. Die Diagnosefunktion trägt dazu bei, dass das System ordnungsgemäß funktioniert, während die Verriegelungen zum Schutz vor Betrieb unter gefährlichen Bedingungen beitragen. NOVELLUS Aura 2000 ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der Austauschbarkeit mit anderen Prozesswerkzeugen bietet und die Integration in jede Halbleiterumgebung erleichtert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Technologien ist dieser Ätzer/Ascher für ein breites Spektrum an Ätz- und Aschebedürfnissen in Bezug auf Metalle, Nitride und Oxide gut geeignet.
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