Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Bauelementen verwendet wird. Es eignet sich für die Verarbeitung der meisten routinemäßigen Ätz- und Ascheanwendungen, die in der Produktion und im Engineering verwendet werden. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um einen schnellen, zuverlässigen und wiederholbaren Prozess zu bieten und gleichzeitig ein überlegenes Maß an Flexibilität und Präzision zu erhalten. GASONICS Aura 2000 verwendet ein patentiertes dreistufiges Verfahren zur Optimierung der Substratreinigung und der Materialätzung. Die erste Stufe des Verfahrens ist eine Ätzstufe. Dabei wird eine notwendige Ätzchemie und Passivierungsschicht auf das Substrat aufgebracht. Die Ätzchemie- und Passivierungsschicht ist so konzipiert, dass organische oder metallische Verunreinigungen, die auf dem Substrat vorhanden sein können, abgebaut werden und eine saubere Substratoberfläche hinterlassen. Die zweite Stufe ist die Aschstufe. Während dieser Phase wird Sauerstoff in die Kammer eingeleitet, um den Aschevorgang zu beginnen. Der Sauerstoff reagiert mit den Oberflächenverunreinigungen und oxidiert sie und verändert sie von fester in gasförmige Form. Außerdem hilft der Aschevorgang, eventuell zurückgelassene Reststoffe aus dem Ätzprozess zu entfernen. Die letzte Stufe des Verfahrens ist die Reinigungsstufe. Während dieser Phase wird die Kammer mit Stickstoffgas geflutet, was zum Ausspülen von restlichen Prozessrückständen beiträgt. Das Stickstoffgas wird auch verwendet, um Verunreinigungen aus der Kammeratmosphäre herauszufiltern und so eine saubere und gleichmäßige Atmosphäre innerhalb der Kammer zu gewährleisten. NOVELLUS Aura 2000 ist mit einer kompletten Reihe von Prozessüberwachungs- und Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die eine präzise Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit gewährleisten. Das System ist zudem mit einem integrierten Controller ausgestattet, der eine einfache Einheitenprogrammierung und Prozessoptimierung ermöglicht. Die Maschine verfügt zudem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die es dem Benutzer ermöglicht, das Werkzeug einfach und schnell einzurichten und zu steuern. Aura 2000 ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Das Asset sorgt für schnelle, zuverlässige und wiederholbare Prozessleistung und bietet gleichzeitig ein überlegenes Maß an Flexibilität und Präzision. Mit integrierten Automatisierungslösungen ist GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 eine kostengünstige und effiziente Lösung für viele Ätz- und Ascheprozesse.