Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9077802 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein High-End-Wafer-Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist mit zwei Prozesskammern ausgestattet, die die Abscheidung und Ätzraten verschiedener Materialien steuern können. Es kommt mit einer Vielzahl von Funktionen, wie Unterstützung für Low-K-Dielektrika, ein Quarz-Viewport für die Kammerüberwachung, Mehrkammer-Substrat-Beladung und Vorspannfähigkeit, sowie Optionen für Ionen- und Plasmaquellen-Sputtern. GASONICS Aura 2000 kann eine Vielzahl von Materialien durch verschiedene Verfahren wie reaktives Ionenätzen, tiefreaktives Ionenätzen, organisches Ätzen und hohe Seitenverhältnisse ätzen. Es verfügt auch über eine eingebaute optische Überwachungseinrichtung, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätzprozesses ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine erweiterte Prozesssteuerungsschnittstelle. Es kann programmiert werden, um Standardprozesse oder kundenspezifische Prozesse für verschiedene Ebenen, Geräte und Strukturen durchzuführen. Es ist in der Lage, mehrere Prozesse nacheinander auszuführen und die Zykluszeit herunterzufahren. Es wird mit einer Reihe von Rezepten vorkonfiguriert, um die Prozessbedingungen basierend auf den gewünschten Ätzungen zu optimieren. NOVELLUS Aura 2000 verfügt auch über einen automatisierten Ventilkontrollpunkt, der hilft, die Konsistenz in Ätzprozessen zu gewährleisten, die Wiederholbarkeit und Genauigkeit bieten. Die Vorrichtung ist mit einem Gleichgewicht von Reaktivgas- und Inertgasfördersystemen ausgestattet. Es soll sicherstellen, dass sauberere Prozesse im Laufe der Zeit möglich sind, wodurch der Bedarf an Prozessgeschwindigkeit und Sauberkeit ausgeglichen wird. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Sensoren und Überwachungseinrichtungen, um die Sicherheit der Operationen innerhalb der Kammern und rund um die Wafer zu gewährleisten, helfen, Missgeschicke zu vermeiden. Die Maschine ist mit einer Vielzahl von Diagnose- und Überwachungs-Subsystemen aufgebaut, die eine fortschrittliche Prozessoptimierung ermöglichen. Es umfasst ein Degasmodul zur Entfernung von Verunreinigungen aus der Bearbeitungskammer und ein Autofokus-System zur automatischen Steuerung des Waferätzfokus. Die Einheit ist mehrkammerkompatibel und lässt sich einfach mit anderen Werkzeugen in die Produktionslinie integrieren. Insgesamt ist Aura 2000 eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine, die speziell entwickelt wurde, um Prozesse zu vereinfachen und den Durchsatz im Halbleiterherstellungsprozess zu erhöhen. Es bietet hohe Genauigkeit und hohe Ausbeute Wafer Ätzen, zusammen mit verschiedenen Kontrollfunktionen und mehrere Optionen für Ätzgas und andere Prozesse.