Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist eine Ätz-/Aschemaschine für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, fortgeschrittene Musterung nach unten in einstellige Mikrometer zu ätzen, so dass es eines der präzisesten Systeme zur Verfügung. GASONICS Aura 2000 verwendet Elektronenzyklotronresonanz (ECR) in einer Ultrahochvakuumkammer, um sehr genaue Ätzergebnisse zu erzielen. Das System verfügt über zwei verschiedene ECR-Ätzkapazitäten - je nach gewünschter Ätzgenauigkeit entweder über eine 2,45 GHz oder 2450 MHz Frequenz. NOVELLUS Aura 2000 verfügt zudem über eine niederfrequente Plasmareinigung, die zur Reduzierung der Schadstellen auf der Oberfläche des Substrats und zur Verbesserung der Ätzergebnisse dient. Das Gerät verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI), die die Steuerung des Ätzprozesses einfach macht. Aura 2000 verfügt über eine automatisierte Rezeptmaschine, mit der mehrere Rezepte für mehrere Substrate eingerichtet werden können. Es unterstützt auch RAS-Funktionen, entweder über eine Ethernet-Verbindung oder eine Glasfaserverbindung. Darüber hinaus ist das Tool in der Lage, Standard-Industrie-Schnittstellen, wie SCSI-2 und RS-232. Die Präzision der mechanischen Komponenten von GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 macht es zum Ätzen fortschrittlicher Muster und Merkmale geeignet. Die linearen Stufen sind in der Lage, das Substrat in drei Achsen genau zu bewegen, und der motorisierte Massenstrom und die Vakuumsysteme sind in der Lage, mit hoher Stabilität und Genauigkeit zu arbeiten. Das Asset verfügt außerdem über ein sehr präzises Zielmodell, das die Genauigkeit des Ätzprozesses verbessert. Die fortschrittlichen Prozessrezepte für GASONICS Aura 2000 ermöglichen es Anwendern, den Ätzprozess je nach den Anforderungen des Substrats zu optimieren. Dies gibt Anwendern die Flexibilität, verschiedene Arten von Materialien ohne kompromittierte Ergebnisse zu ätzen. Das Gerät hat auch eine Auto-Tune-Funktion, die hilft, die Ätzparameter für verschiedene Substrate zu optimieren. Insgesamt ist NOVELLUS Aura 2000 ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das hochpräzise Ätzergebnisse erzielen kann. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise Zielmaschine und fortschrittliche Prozessrezepte sowie eine intuitive Bedienoberfläche und Fernzugriffsfunktionen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Funktionen ist es eine ideale Wahl für das Ätzen von erweiterten Funktionen in Halbleiterindustrie-Anwendungen.