Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409 zu verkaufen
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ID: 9233409
Wafergröße: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 9,646 Hours
Filament run time: 16,005 Hours
Wafer passes: 7132
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der speziell für die fortschrittlichen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieser leistungsstarke Ätzer verwendet eine einzigartige Kombination von Ätz- und Aschetechniken, um Leiterplatten und integrierte Schaltungen herzustellen, die höchsten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards entsprechen. GASONICS Aura 2000 ist mit einer Vielzahl von High-End-Funktionen ausgestattet, um eine optimale Ätz-/Ascheleistung und -ergebnisse zu gewährleisten. Die ultrahochauflösende Optik bietet bis zu 25.000 Zeilen pro Zoll Auflösung, wodurch höchste Genauigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen erreicht wird. Das System nutzt auch eine Quarz- und ionisierte Gaskammer zum präzisen Ätzen komplexer Kreismuster sowie eine Hochdruckätzkammer zum Reinigen und Ätzen von Metallen. NOVELLUS Aura 2000 verfügt auch über eine Vielzahl fortschrittlicher Materialhandhabungsfunktionen. Seine Hochleistungsoblatenberühreneinheit berücksichtigt schnelle und effiziente Be-und Entladung von Geräten, während sein fortgeschrittener roboterbasierter Oblatensortierer Präzisionsbewegung und Stellen liefert. Darüber hinaus ermöglicht die förderbasierte Transportmaschine eine genaue Lieferung und Handhabung integrierter Schaltungen mit bis zu 1.000 I/O-Anschlüssen. Schließlich ist Aura 2000 mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen konzipiert, um optimale Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Seine Dual-Controller-Module ermöglichen die Überwachung und Überwachung mehrerer Prozessabläufe und eine Vielzahl von Sensoren liefern Daten über die Umgebungsbedingungen des Werkzeugs. Diese Anlage ist auch mit einem fortschrittlichen Kühlmodell zur Temperaturregelung und effizienten Betrieb gebaut. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein unglaublich leistungsfähiges Ätz-/Aschegerät, das den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dank des fortschrittlichen Optiksystems und der Materialhandhabung kann das Gerät qualitativ hochwertige und zuverlässige Ergebnisse erzielen, und seine Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass das Gerät sicher und sicher arbeitet.
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