Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833 zu verkaufen
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ID: 9247833
Wafergröße: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 79 Hours
Wafer passes: 16448
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Hochleistungs-Chemikalienätzer/Ascher, der modernste Ätz- und Aschebearbeitungsfähigkeiten für fortschrittliche Forschung und Entwicklung bietet. Speziell für skalierte Geräteherstellungsprozesse entwickelt, hat es die Fähigkeit, Substrate von 0,5 bis 6 Zoll Durchmesser zu verarbeiten. GASONICS Aura 2000 bietet eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses und ermöglicht es Benutzern, Leistung und Gaszusammensetzung genau anzupassen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Diese Flexibilität wird durch eine fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie unterstützt, die es Anwendern ermöglicht, die Prozessparameter beim Ätzen und Aschen zu überwachen. Das fortschrittliche Design von NOVELLUS Aura 2000 minimiert die Zeit zum Ätzen und Aschen. Hochpräzise Düsenbaugruppen, fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie, schnelle Brennzeiten und die Fähigkeit, Wafer mit größerem Durchmesser zu unterstützen, machen dies zu einem idealen Ätzer/Ascher für viele Anwendungen. Aura 2000 ist auch in hohem Grade wiederholbar, so dass Benutzer sicher die gleichen Ergebnisse in mehreren Durchgängen reproduzieren können. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 verfügt zudem über eine fortschrittliche Load-Lock-Technologie, die den Waferschutz vor Verschmutzung gewährleistet. Es bietet optische Fotoaugenerkennung und Prozessautomatisierung und verfügt über eine einstellbare Lastverriegelungskammer zur Aufnahme unterschiedlicher Größen und Formen von Wafersubstraten. GASONICS Aura 2000 ist für einen effizienten Betrieb und einfache Bedienung ausgelegt. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und eine Grafikprozessüberwachung, mit der Benutzer Ätz- und Ascheparameter schnell anpassen können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Sein geringes Gewicht ist ein zusätzlicher Vorteil für diejenigen, die den Ätzer/Ascher von einem Ort zum anderen verschieben müssen. Insgesamt ist NOVELLUS Aura 2000 ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der modernste Ätz- und Aschebearbeitungsfunktionen mit fortschrittlicher Prozesskontrolltechnologie bietet. Es bietet schnelle Brennzeiten, Wiederholbarkeit und die Fähigkeit, große Substrate unterzubringen, was es zu einer großen Wahl für eine Vielzahl fortschrittlicher Forschungs- und Entwicklungsanwendungen macht.
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