Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9313666 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Ätzer/Assembler, der hochpräzise Hochdurchsatz-Ascherei für die Halbleiter-, MEMS und Nanotechnologie-Industrie bietet. GASONICS Aura 2000 bietet ausgezeichnete Ätzleistung in den schwierigsten Situationen, mit einem breiten Bearbeitungsfenster, das die Herstellung der fortschrittlichsten Strukturen der Welt ermöglicht. Diese hochmoderne Ausstattung bietet höchste Flexibilität und Wirtschaftlichkeit beim Dehnen, Ätzen und Abisolieren von Wafern und verpackten Geräten. NOVELLUS Aura 2000 ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, um Präzision und Wiederholbarkeit bei Ätzanwendungen zu gewährleisten. Es bietet eine breite Palette von Standard-Gasgemischen wie Sauerstoff, HBr, CHF3, aus denen Ätzzeiten und Ätzraten kalibriert werden können. Es verfügt über eine einfache Befehlsschnittstelle, mit der Benutzer die Geräteparameter leicht ändern und während des Ätzvorgangs die entsprechende Zeit, den Druck und die entsprechende Temperatur auswählen können. Es verfügt auch über Warmlaufschutzfähigkeit, um die Prozessausrüstung vor thermischem Zerfall zu schützen und gleichzeitig verbesserte Ätzraten und Qualität zu bieten. Aura 2000 ist mit patentierten Gaseinspritzsystemen für praktisch keine Durchbrüche gebaut - ermöglicht einen sehr schnellen Durchsatz bei minimalem Gasverbrauch. Es ist mit zwei Aschereien, einem Niedertemperaturascher und einem Hochtemperaturascher für maximale Flexibilität ausgestattet. Niedrige Temperaturen ermöglichen eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit beim Ätzen empfindlicher Strukturen, während hohe Temperaturen einen schnellen Durchsatz mit hohen Ätzraten ermöglichen. Eine kleine Probengröße von Silikon ist im Lieferumfang des Aura enthalten, so dass Benutzer sofort mit dem Ätzen beginnen können. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 wurde entwickelt, um die höchsten Sicherheitsstandards der Industrie zu erfüllen und verfügt über ein zertifiziertes Gehäuse, das die Sicherheit vor gefährlichem Gasstrom gewährleistet. Das System verfügt auch über eine automatische Geschwindigkeitsregelung und eine Gasisolierung, um den Ätzvorgang effektiv zu steuern. Darüber hinaus minimiert die Verwendung einer inerten Atmosphäre zum Waferschutz die Fehlerbildung bei gleichzeitiger Maximierung der Produktausbeuten. Alle Komponenten sind in einem einzigen Gehäuse untergebracht, um eine einfache Wartung und überlegene Zuverlässigkeit zu gewährleisten. GASONICS Aura 2000 bietet Anwendern Flexibilität, Komfort, Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit und gehört damit zu den Top-Ätzern/Monteuren, die auf dem Markt erhältlich sind. Seine einzigartigen Eigenschaften, seine robuste Konstruktion und sein anspruchsvolles Design machen es zu einer großen Wahl für jede Halbleiter-, MEM- und Nanotechnologie-Anwendung.