Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605212 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Hochleistungs-Plasmaätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Prozessen in der Waferherstellung entwickelt wurde. GASONICS Aura 2000 verfügt über eine Hochvakuum (HV) -Plasma-Technologie, die ein ultraschnelles Ätzen und Aschen des Substrats ermöglicht, indem sie hohe Ionenenergie liefert und die Prozesskammer effizient reinigt. Dieser Ätzer kann Substratgrößen bis 12 "Durchmesser und Prozesstemperaturen bis 1000 ° C handhaben. NOVELLUS Aura 2000 hat eine Vielzahl von Funktionen, die es zu einem führenden Unternehmen unter den Radierern und Aschermaschinen machen. Seine proprietäre Ultra-High-Density-Plasma-Technologie ermöglicht effiziente Ätz- und Ascheraten und verringert die Prozesszeiten im Vergleich zu anderen Ätzsystemen um das Zwanzigfache. Das bedeutet, dass Aura 2000 komplexe Prozesse mit einer Vielzahl von Ätztypen bewältigen kann, darunter Reactive Ion Etching (RIE) und Dry-Plasma-Ätzen. Die ultraschnelle Ätzgeschwindigkeit kombiniert mit seiner Fähigkeit, Wafer vor der Abscheidung chemisch zu passivieren, bedeutet, dass GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 eine konstante Leistung bei gleichzeitiger Reduzierung der Prozesskosten liefern kann. Die robuste Vakuumkammer und die leistungsstarken Steuerungssysteme von GASONICS Aura 2000 tragen zur Senkung der Gemeinkosten bei, die mit der Aufrechterhaltung einer anhaltenden Ultrahochvakuumumgebung verbunden sind. Darüber hinaus ermöglicht das fortschrittliche Optiksystem dem Bediener, den Prozess in Echtzeit mithilfe der Durchlauffenster zu beobachten und eine schnelle und genaue Fehlerbehebung zu ermöglichen. NOVELLUS Aura 2000 verwendet automatisierte und flexible Rezepturen, um die Wiederholbarkeit zwischen den verschiedenen Prozessschritten sicherzustellen, so dass es konsistent bleibt und Wafer-Prozessschritte wiederholt. Aura 2000 behauptet, eine bessere als 4-nm-Auflösungsgenauigkeit zu haben, so dass es Präzision zu Ihren Ätz- und Ascheprozessen bringt, die Nanolaser sowie konventionelle und digitale Bildverbesserung implementieren. Die Ätzung beinhaltet auch eine fortgeschrittene hermetische Abdichtung, die höhere Prozessgeschwindigkeiten und Ausbeuten durch reduzierte Oxidation und Verschmutzung ermöglicht. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein hochmoderner Plasmaätzer/Ascher, der mit einer Vielzahl von Wafersubstraten von 12 "Durchmesser umgehen kann. Es verfügt über eine proprietäre Ultra-High-Density-Plasma-Technologie für schnellere Verarbeitung, eine robuste Vakuumkammer für effiziente Wartung, fortschrittliche Optik für Echtzeitüberwachung und automatisierte und flexible Rezepte für Wiederholbarkeit. Die hermetischen Dichtungs- und Hochleistungsregelungssysteme reduzieren die Gemeinkosten und die Auflösungsgenauigkeit ist besser als 4 nm. GASONICS Aura 2000 liefert garantiert optimale Ätz- und Ascheprozesse bei gleichzeitiger Reduzierung der Gemeinkosten.