Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605214 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist ein Ätzer/Ascher ideal zum Ätzen und Reinigen von Halbleiterscheiben. Es ist vollautomatisiert, mit manuellen Überschreibungen für dielektrische Arbeit. Für die gesamte Einrichtung, Programmierung und Prozesssteuerung wird ein LCD-Touchscreen verwendet. Das Gerät verfügt über zwei völlig unabhängige Ätzer für simultane Prozesse und zwei Prozesskammern für eine schnelle parallele Verarbeitung. GASONICS Aura 2000 verfügt über eine Reaktorkammer zur Aufnahme von bis zu vier Wafern verschiedener Größen bis 200 mm sowie Proben mit speziellen Geometrien. Es ist mit einem leistungsstarken HF-Induktivgenerator ausgestattet, der von einem einstellbaren Frequenz-Digitalnetzteil angetrieben wird und eine präzise Steuerung des Plasmaätzprozesses ermöglicht. Der Induktor ist auch in der Lage, entweder eine ein- oder zweifrequente Spule anzusteuern, die je nach Prozessbedarf abgestimmt werden kann. NOVELLUS Aura 2000 verfügt auch über eine hochpräzise Pfannen- oder Bootsausrüstung, die als Multifunktions-RF-Ready Beam Creel bekannt ist. Dieses fortschrittliche System ist in der Lage, eine präzise Lieferung von Ätzmittel, Chemikalien und anderen Reaktanten. Das Creel ist mit HF-Sonden zur präzisen Positionierung von Wafern und präziser Lieferung von Ätzmittel ausgestattet. Aura 2000 verfügt zudem über eine integrierte Multi-Gas-Fördereinheit für präzise Durchflusssteuerung und Schnellanalysen. Diese Maschine kann für eine oder mehrere Gaslieferungen vollständig automatisiert werden, was eine präzise Steuerung und Multimode-Rezeptflexibilität ermöglicht. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist voll kompatibel mit einer Reihe von Industriestandard-Plasmaätzverfahren, einschließlich In-Sulator-basierte Abscheidung, Sputter-Abscheidung, reaktives Ionenätzen, Out-Gas-Entfernung und Kontamination Ätzen. Die fortschrittliche Prozesskammerdesign gewährleistet eine präzise und gleichmäßige Kammertemperatur zu jeder Zeit, so dass es ideal für eine breite Palette von Ätz- und Reinigungsprozessen. Schließlich verfügt GASONICS Aura 2000 über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein eingebautes digitales Steuerwerkzeug und ein Sicherheitsschloss, um sicherzustellen, dass nur autorisiertes Personal auf das Gerät zugreifen kann. Diese Anlage verfügt auch über vier Ebenen der Nothaltefähigkeit, so dass die Betreiber im Notfall schnell und sicher reagieren können. Das Gerät enthält auch ein erweitertes Diagnosemodell, das detaillierte Berichte und Alarme im Notfall oder bei abnormalen Operationen generieren kann.