Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9113641 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL ist eine Ätz-/Aschereinrichtung für fortschrittliche Fertigung, die Präzisionsproduktion und hohen Durchsatz liefert. Es wurde entwickelt, um ein robustes Ätzen und Aschen mit zuverlässigen High Density Plasma (HDP) -Prozessen für die Herstellung von Halbleiterscheiben zu ermöglichen. Dieses hochmoderne System ist vollautomatisiert mit Prozessprotokollen, Alarmen und einem benutzerfreundlichen Touchscreen für eine vereinfachte Bedienung. GASONICS Aura 2000LL verfügt über fortschrittliche HDP-Technologien für mehr Präzision. Eine variable Druckeinheit hilft, das energetische Potential von Behandlungsprozessen zu maximieren und gleichzeitig eine konsistente Plasmaumgebung zu erhalten. Zusätzlich nutzt die Maschine ein verbessertes sauberes Verarbeitungsverfahren für weniger Defekte und höhere Ausbeuten. Das Werkzeug ist mit einer umfassenden Erkennungs- und fehlerfreien Funktion ausgestattet, um eine bessere Produktqualität und Prozessstabilität zu ermöglichen. Seine fortschrittliche Echtzeit-Fehlerprüfung gewährleistet einen reibungslosen Betrieb und eine schnelle Alarmantwort. Darüber hinaus werden Rezepte automatisch optimiert und angepasst, wenn sich Prozessparameter ändern, während ein integriertes Vision-Asset fortschrittliche Prozessüberwachung und -erkennung verwendet. Das Modell verfügt auch über ein fortschrittliches mechanisches Design und erweiterte Beschichtungsfunktionen für erhöhte Genauigkeit. Ein ausgeklügeltes automatisiertes Wafer-Fördergerät sorgt für einen reibungslosen Produktfluss, während das Low-Mass-Design raue Vibrationen reduziert. Darüber hinaus macht seine Fähigkeit, eine breite Palette von Wafern und Substraten zu behandeln, es zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für eine Vielzahl von Aufgaben. NOVELLUS AURA 2000 LL ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ätz-/Aschersystem für fortgeschrittene Halbleiterherstellungen. Seine fortschrittlichen HDP-Technologien, umfassende Erkennungs- und fehlerfreie Funktionen, robuste Rezeptoptimierungsfunktionen und fortschrittliches mechanisches Design bieten präzise Produktion und hohen Durchsatz für eine Vielzahl von Aufgaben.