Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293598156 zu verkaufen

ID: 293598156
Wafergröße: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 ist ein Präzisionsätzer/Ascher für fortschrittliche Technologieanwendungen. Sein Design und seine robusten Fähigkeiten machen GASONICS Aura 3010 zu einem wichtigen Werkzeug für den Einsatz im Bereich Werkstofftechnik und Ätz-/Ascheranwendungen. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Anwendungen aus Dünnfilm, Ätzen und Glühen mit Leichtigkeit zu verarbeiten. NOVELLUS Aura 3010 ist in der Lage, Präzisionsteile mit einer Schrittauflösung von 10um zu manipulieren und kann mit bis zu 8-5 Achsstufen für präzise X-Y, Z und Rotationsbewegung konfiguriert werden. Das Gerät ist zudem mit fortschrittlichen Software- und Automatisierungssteuerungen zur präzisen Temperaturregelung und Ätzprofilsteuerung ausgestattet. Aura 3010 hat eine Vielzahl von Heizquellen zur Verfügung, so dass es eine Reihe von Materialien zu verarbeiten. Dazu gehören Strukturmetalle, Polymere und optisch angesammelte Dünnschichten. Darüber hinaus kann das Gerät mit einer Vielzahl von Masken konfiguriert werden, sowohl einstufig als auch mehrstufig, so dass es für eine Vielzahl von Musterprozessen geeignet ist. Das Design von GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 ermöglicht auch eine detaillierte Kontrolle der Prozessparameter. Dazu gehört die Steuerung von Temperatur, Druck und Reaktionsraumgröße sowie die Variation der Zielmaterialdicke zur Erzeugung eines präzisen Ätz-/Ascherprofils. GASONICS Aura 3010 ist auch mit einer breiten Palette von Ein- und Ausgangsoptionen ausgestattet. Dazu gehören Ethernet, USB und integrierte Software für eine einfache Datenübertragung. Darüber hinaus umfasst die Einheit eine Vielzahl von Prozessberichtsfunktionen zur Überprüfung von Prozessparametern und Ergebnissen. Insgesamt ist NOVELLUS Aura 3010 eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die in der Lage ist, dünne Folien und Strukturmaterialien präzise zu verarbeiten. Sein Design unterstützt präzise Temperaturregelung, Maskierbarkeit und eine breite Palette von Ein- und Ausgangsoptionen. All dies macht es zu einem idealen Werkzeug für den Einsatz in vielen werkstofftechnischen Anwendungen.
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