Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293767744 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 ist ein Single-Wafer, LPECVD Ätzer/Ascher für Batch-Verarbeitung Ätzen und Aschen von mikroelektronischen Geräten. Diese Wafer-Ätzvorrichtung bietet hohen Durchsatz und Prozessgleichmäßigkeit durch eine einzigartige Kombination aus Richtätzen und Niederdruck, chemischer Dampfabscheidung. GASONICS Aura 3010 ist für den Einsatz bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente und MEMS-Strukturen konzipiert. Das innovative Einkammer-Design von NOVELLUS Aura 3010 minimiert Prozessverzögerungen für verbesserten Durchsatz und Einheitlichkeit. Das System ist in der Lage, mit unterschiedlichen Gasen bei einem weiten Bereich von Drücken und Temperaturen zu arbeiten, was variable Ätzprozesse und Prozessbedingungen ermöglicht. Es unterstützt auch selektive und nicht-selektive Prozesse, so dass eine breite Palette von Materialien verarbeitet werden kann. Die AC-DC-Ätztechnologie kombiniert eine Niederdruck, chemische Dampfabscheidung (LPCVD) Quelle, um ein reaktives Plasma in der Kammer zu erzeugen. Dieses Plasma wird dann mit einer Duschkopfelektrode auf die Oberfläche des Wafers gerichtet. Diese Einheit ermöglicht eine enge Steuerung der Ätzrate und Gleichmäßigkeit über den Wafer. Die Integration von Multiglüh- und Rapid Thermal Processing (RTP) Einheiten in Aura 3010 ermöglicht die thermische Steuerung notwendiger Prozesse. Dies bietet noch mehr Prozessflexibilität bei gleichzeitig ausgezeichneter Ätzrate und Gleichmäßigkeit. GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 unterstützt auch eine breite Palette von Ätzmaterialien, von Oxid und Nitrid bis zu Metallen und Polymeren. Die einzigartigen Einheitlichkeitsmerkmale der Maschine und das große Prozessfenster ermöglichen es, sowohl für selektives als auch nicht-selektives Ätzen eine gute Leistung zu erzielen. GASONICS Aura 3010 kann auch zum Aschen verwendet werden. Das hochmoderne Gasförderwerkzeug sorgt dafür, dass die Reaktantgase in der gesamten Kammer gleichmäßig dispergiert werden, was eine optimale Leistung für Ascheprozesse bietet. NOVELLUS Aura 3010 wurde von Grund auf zu einem vielseitigen, leistungsstarken Ätzer/Ascher entwickelt. Seine Einkammer-Konstruktion sorgt für optimalen Durchsatz und Prozessgleichförmigkeit. Unterstützt eine Vielzahl von Materialien, Gasen und Prozessbedingungen, kann Aura 3010 sowohl für selektives als auch nicht-selektives Ätzen und Aschen verwendet werden. Das Asset beinhaltet auch eine fortschrittliche thermische Kontrolle, um die Ätzgleichförmigkeit weiter zu verbessern.