Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura ist ein Ätzer/Ascher, der typischerweise in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist in der Lage, Komponenten mit Merkmalen bis zu 0,15 Mikrometer (150 Nanometer) zu verarbeiten. Die Maschine bietet außergewöhnliche Bildqualität, Zuverlässigkeit und Produktivität und ist damit die ideale Wahl für anspruchsvolle Produkte mit präzisen Mikromustern. Die Grundeinheit des GASONICS Aura Systems wird als PECVD Prozessor bezeichnet, der mit bis zu zwei Kammern ausgestattet werden kann. Innerhalb jeder Kammer werden die Komponenten durch ein gasgefülltes Vakuumgefäß geführt, das ein Gemisch aus reaktiven Gasen und einer Hochfrequenzquelle liefert. Die HF-Quelle erzeugt das für das Ätzen (oder Aschen, für Nicht-Silizium-Materialien) notwendige Plasma, ohne das Substrat und seine Merkmale zu beeinträchtigen. Jede Kammer ist mit einer beweglichen Stufe ausgestattet, die Wafer durch die Ätzbearbeitungskammer lädt und entlädt. NOVELLUS Aura System verfügt auch über fortschrittliche Design-Automatisierung und anspruchsvolle algorithmische Steuerung, um einen zuverlässigen und wiederholbaren Prozess zu gewährleisten. Das System hat die Fähigkeit, Ätzzeiten und Gasströme und Rampenleistungen anzupassen und bietet ein hohes Maß an Genauigkeit und eine bessere Kontrolle der gelieferten Ätzraten, Gleichmäßigkeit und anderer Parameter. Aura ist für hohen Durchsatz und hohe Erträge konzipiert, so dass es eine gute Wahl für die anspruchsvollsten Produktionsumgebungen ist. Seine Einheitlichkeit zwischen Wafern und Chargen macht es ideal für eine breite Palette von Anwendungen, einschließlich IC-Geräteherstellung, MEMS und fortschrittliche Halbleiterverpackungen. GASONICS/NOVELLUS Aura ist die ideale Lösung für diejenigen, die eine präzise, wiederholbare Ätzung für ihre härtesten Aufgaben benötigen. Seine anspruchsvolle Design-Automatisierung und algorithmische Steuerung bieten die ultimative Leistung und Zuverlässigkeit. Mit GASONICS Aura können Kunden Qualitätskomponenten mit wiederholbarer Leistung und hervorragendem Preis-Leistungsverhältnis erhalten.