Gebraucht GASONICS / NOVELLUS / GPT Gamma #9083208 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der häufig in der Elektronik- und Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist zum Reinigen, Ätzen und Abscheiden von Materialien auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers ausgelegt. Es verwendet Hochdruck-Sauerstoffplasma, um Oxide, Silikate und Kohlenwasserstoffe aus dem Wafer zu entfernen. Dieser Ätzer/Ascher verfügt auch über sauerstoffreaktive Gaseinspritzung für Silber-Schwefelätzen und reaktives Ionenätzen für hochselektives Ätzen. GPT Gamma ist eine vollautomatisierte Multi-Tool-Ausrüstung, die eine breite Palette von Halbleiterscheiben im Durchmesser von acht bis zweiunddreißig Zoll ätzen, aschen und reinigen kann. Das System kann auch eine große Anzahl von Waferträgern aufnehmen, einschließlich teurer „Freilauf“ -Waferträger. GASONICS Gamma wurde entwickelt, um die Partikelerzeugung mit fortschrittlicher Prozessüberwachung und Feedback-Steuerungstechnologie zu minimieren. Es verfügt auch über eine variable Prozesszeitverzögerung, um thermische und mechanische Beanspruchung der Wafer zu reduzieren. Die Kammer ist mit einer leistungsstarken Gasfördereinheit verbunden, die die Kammer vorheizen und unter Druck setzen kann. Diese Maschine ermöglicht die kontrollierte Einleitung von hochgeschwindigkeitsreaktiven Gasen bei genau geregelten Niveaus und Temperaturen. Gamma ist mit einem hochmodernen Wafer-Handhabungswerkzeug ausgestattet, das über ein gesichertes Split-Level-Design für den besten mechanischen Schutz der Wafer verfügt. Das Asset kann auch einen hohen Automatisierungsgrad verwalten, einschließlich Wärmevorauswahl, Wafer-Erfassung, Beladen, Entladen und Vor- und Nachprozessanalyse. Darüber hinaus ist NOVELLUS Gamma mit einer Vielzahl von Wafermaterialien wie Silizium, Aluminiumnitrid und Quarz kompatibel. GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma ist eines der fortschrittlichsten Systeme auf dem Markt und bietet herausragende Leistung und Zuverlässigkeit. Dieses Modell wurde entwickelt, um die Erträge zu maximieren, Kosten und Zykluszeiten zu reduzieren und die Gesamtnachfrage zu erfüllen. Es ist durch mehrere Standards zertifiziert und wird von einem erstklassigen Team von technischen Ingenieuren unterstützt, um die Kundenzufriedenheit zu gewährleisten.