Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Iridia ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist ein vollautomatisiertes System, das eine hochpräzise Verarbeitung von Photoresists, Metallen und anderen Materialien ermöglicht, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Gerät verfügt über die neueste Technologie der Branche für Multimode-Plasmaätz- und CVD-Prozesse, die eine schnellere Verarbeitung komplizierter Muster und engere Maßtoleranzen in allen Ebenen der Chipentwicklung ermöglichen. GASONICS Iridia Maschine verfügt über eine Reihe von Innovationen, die helfen, die Ausbeuten von Halbleiterchips zu maximieren und den Durchsatz zu erhöhen. Es verwendet einen Single-Source-Ätz-/Ascheprozess, der Schlüsselätz- und Abscheidungsprozesse in einer Maschine integriert, um kostspielige Einrichtungsänderungen zu reduzieren, die für die mehrstufige Verarbeitung erforderlich sind. Es verfügt auch über direkte In-situ-Diagnosewerkzeuge mit digitalem Echtzeit-Feedback für maximale Prozesskontrolle und verbesserte Werkzeugverfügbarkeit sowie automatische Lastkammerausgleichsfunktion und verbesserte Wafer-Gleichmäßigkeit für feinere Funktionssteuerung. NOVELLUS Iridia Asset bietet mehrere Ätzkonfigurationen zur Optimierung von Funktionsauflösung und Selektivität. Die automatisierten Systeme ermöglichen eine Prozessoptimierung und schnellere Hochlaufzeiten für die Verfeinerung von Gerätestrukturen. Das optionale Lastschließmodell ermöglicht eine schnelle Einführung und Entfernung von Substraten für erhöhte Prozessstabilität und -durchsatz. Die Ausrüstung ermöglicht auch die Anpassung der Substratkonfiguration und -beladung, so dass Benutzer die Produktionsflexibilität maximieren und das System an die individuellen Bedürfnisse anpassen können. Iridia ist für optimale Stabilität, Durchsatz und Vielseitigkeit konzipiert und gibt Halbleiterherstellern die Macht, die Grenzen der Dünnschichttechnologien zu überschreiten. Die Einheit bietet Funktionen, die die Verarbeitung komplexer dreidimensionaler Strukturen und Submikron-Geometrien in den anspruchsvollsten Halbleiterumgebungen ermöglichen. All dies trägt zur Steigerung der Erträge und zur Verbesserung der Prozessstabilität bei und ermöglicht die Herstellung hochwertigerer Chips in kürzeren Auflagen.