Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3300 ist ein vollautomatischer Ätzer, der entwickelt wurde, um außergewöhnlich hochwertige und genaue Eigenschaften in Substraten zu produzieren. Dieser Ätzer bietet eine Hochdruck-Plasmaumgebung mit hoher Dichte, die in der Lage ist, schnell durch eine Vielzahl von Materialien zu ätzen. Die integrierte Endpunkt-Detektionsausrüstung sorgt für ultrapräzise Ätzprofile und verbessert so Ertrag und Produktivität. Die fortschrittliche Steuerung und Automatisierung dieser Einheit trägt dazu bei, wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Dies wird durch eine Vielzahl von Funktionen wie enge Prozesskontrolle, Inline-Diagnose, Auto-Rezept-Management und eine breite Palette von Plasma-Rezepten erreicht. Darüber hinaus bietet dieses System eine hocheffiziente Wärmequelle für Substratheizung und -kühlung. Zum Erwärmen wird eine In-situ-Quarzlampe verwendet, um beim Ätzen eine konstante Temperatur aufrechtzuerhalten, wobei die Wärme gleichmäßig über das Zielsubstrat verteilt wird. GASONICS L 3300 verwendet eine Pulsed Plasma Power Source (PPPS), um ein präzises und einheitliches Plasma zu erzeugen, das auf Materialien verschiedener Arten und Dicken zugeschnitten ist. Die Schnittstelle zwischen PPPS und Substrat ist so konzipiert, dass Ausbeute und Durchsatz maximiert werden. Das PPPS bietet einstellbare Pulsweitenwellenformen und selbstadaptive Plasmawellenformen zur Optimierung der Prozesssteuerung. In-situ-Gase werden auch innerhalb der Kammer verwaltet, um eine optimale Prozesswiederholbarkeit zu gewährleisten. Speziell bietet der Ätzer eine dynamische Durchflusssteuerung von Sauerstoff-, Ar/CF4/CHF3, SiCl4 und SF6-Chemikalien. Der Prozess wird über eine vakuumdichte Kammer mit höhenverstellbarem Lichtbogen-Duschkopf und Glasfaser-Duschkopf für verbesserte Prozessgleichförmigkeit gesteuert. NOVELLUS L 3300 ist in der Lage, Substrate bis 8 Zoll (203 mm) in der Größe zu verarbeiten. Dies ermöglicht schnelle Umlaufzeiten, da Substrate in kurzer Zeit bearbeitet werden können und keine zusätzlichen Durchgänge oder Schritte erforderlich sind. Der Ätzer ist einfach zu bedienen, mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche für einfache Rezepterstellung, Einheitsbedienung und Prozessüberwachung. Die Maschine verfügt außerdem über ein integriertes Diagnosewerkzeug, das die Wiederholbarkeit der Prozesse gewährleistet. Insgesamt ist L 3300 eine hochwertige, zuverlässige Ätzanlage, die auf genaue und präzise Ätzfunktionen ausgelegt ist. Mit seinem Hochdruck-, Hochdichteplasma und seinen hocheffizienten Heiz-/Kühlfunktionen ist es eine ideale Wahl für viele verschiedene Branchen. Dank seiner Flexibilität und benutzerfreundlichen Funktionen ist es eine gute Wahl für alle, die Substrate schnell und zuverlässig genau ätzen müssen.