Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9227632 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3500 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es vereint die neuesten Fortschritte in der Präzisionslithographie, Plasmareinigung und Hartmaskenätzverfahren und bietet höchste Ausbeute und Durchsatz. GASONICS L 3500 verfügt über zwei Ätzkammern und zwei Plasmasysteme, die es ermöglichen, bis zu zwei Wafer gleichzeitig zu bearbeiten. Es hat auch eine vakuumversiegelbare Abdeckung, die die Sammlung von beliebigen Nebenprodukten des Ätzprozesses, wie Kupferätzoffstarts, ermöglicht. NOVELLUS L3500 integriert die patentierte Puls-Plasma-Technologie GASONICS, die einen fokussierten Plasmapuls mit hoher Dichte und Mikrosekunden-Dauer verwendet, um die Materialoberfläche vor dem Ätzen zu reinigen. Dieser Prozess beseitigt Verunreinigungen oder Mängel vor Beginn der Ätzung und sorgt so für ein extrem sauberes, fehlerfreies Endprodukt. Darüber hinaus verfügt L 3500 über ein maßgeschneidertes Mittelgas-Strömungssystem zur Einstellung der Plasmachemie, so dass es eine breite Palette von Filmen verarbeiten kann. Mit diesem System können GASONICS L3500 Metalle, Polymere, Dielektrika und sogar Silizide ätzen. NOVELLUS L 3500 ist mit einer patentierten PFZ-Software von NOVELLUS ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, den Ätzprozess mit Genauigkeit und Kontrolle zu programmieren und zu überwachen. Es verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, so dass der Benutzer schnell und einfach Ätzparameter einstellen und ihren Fortschritt überwachen kann. L3500 bietet hervorragende Endproduktqualität. Seine erweiterten Kammerkonstruktionen sorgen dafür, dass das Ätzziel während der Verarbeitung frei von Kontaminationen gehalten wird, was zu außergewöhnlich niedrigen Fehlerraten führt. Dies ermöglicht es, die höchsten Qualitätsanforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt GASONICS/NOVELLUS L3500 über eine fortschrittliche Kontrolle der Ätzgleichförmigkeit, um sicherzustellen, dass das gesamte geätzte Material innerhalb der angegebenen Abmessungen bleibt. Insgesamt ist GASONICS/NOVELLUS L 3500 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Es bietet eine Kombination aus Puls-Plasma-Reinigung, einstellbarer Plasmachemie und einer benutzerfreundlichen PFZ-Software zur Endproduktsteuerung und -genauigkeit. GASONICS L 3500 ist dank seines fortschrittlichen Designs äußerst zuverlässig und liefert hochpräzise, fehlerfreie Endprodukte.