Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3500 ist eine High-End-Ätz-/Ascheausrüstung für die chemisch-mechanischen Planarisierungsprozesse (CMP). Es bietet eine leistungsstarke, schlanke Bedienung und eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit in einem einfach zu bedienenden System. Das Gerät bietet höchste Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit über längere Betriebszeiten und bietet die beste Prozesssteuerung für eine breite Palette von Nass- und Trockenätz-/Ascheanwendungen. GASONICS L 3500 ist mit einem zweiachsigen Roboterarm ausgestattet, der eine präzise, wiederholbare Bewegung für die Positionierung von Werkzeugrobotern ermöglicht. Der Arm kann zum Ausrichten von Werkzeugen auf der Plattform verwendet werden. Die Maschine verwendet auch GASONICS Mikroprozessor basierte, Echtzeit-adaptive Steuerungen, um höchste Ätz-/Ascheleistung zu gewährleisten. Es wird mit einem Hochleistungs-Roboterarm-Controller kombiniert, der in der Lage ist, einen einzelnen Roboter oder mehrere Roboter in beliebigen Winkelbereichen und Geschwindigkeiten von bis zu 10 Schüssen pro Sekunde (SPS) genau zu lokalisieren und zu positionieren. Um einheitliche Prozessbedingungen auf der gesamten Waferoberfläche zu gewährleisten, verwendet das Tool einen Mehrzonen-Darstellungsbereich, der eine spezifische Anpassung der Prozessbedingungen für jede Zone in den Ansichten ermöglicht und Prozessoptimierung und -ausrichtung ermöglicht. Zusätzlich ist das Modell mit einer automatischen Entwässerungsfunktion ausgestattet, die die Ätz-/Aschegleichförmigkeit automatisch beibehält, indem die Plattform zwischen Waferätzen zurückgesetzt wird. Dies hilft, Fehler bei jeder Ätzung zu reduzieren, was zu einem konsistenten Ätzprofil über den Wafer führt. NOVELLUS L3500 ist auch für konstante Leistung und hohe Prozessausbeute ausgelegt. Das Gerät kombiniert Mehrzonensteuerung, Parameter auf Wafer- und Prozessebene sowie Echtzeit-Alarmüberwachung. Darüber hinaus bietet das System eine roboterintegrierte Vision für Werkzeuge, die einen hohen Durchsatz, eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit ermöglicht. Insgesamt ist NOVELLUS L 3500 ein fortschrittlicher, zuverlässiger, leistungsfähiger Ätzer/Ascher für CMP-Prozesse. Es bietet hohe Präzision und Wiederholbarkeit für hohe Ausbeute ätzen/Aschen. Das Gerät ist hochkonfigurierbar und vielseitig einstellbar für verschiedenste Prozesse und Anwendungen. Mit seinen erweiterten Funktionen und Funktionen ist diese Maschine eine ideale Wahl für die anspruchsvollsten CMP-Anwendungen.