Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3500 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, entwickelt für hohen Durchsatz, schnelle Abscheidung und präzise atomare Schichtabscheidung. Es ist in der Lage, 3-5 Nanometer Präzision bei hohen Durchsatzraten zu erreichen. Das System ist mit einer vakuumbasierten Prozesskammer, einer Hochleistungs-HF-Plasmaquelle und einer In-situ-Wafer-Inspektionsvorrichtung ausgestattet. Die Prozesskammer auf Vakuumbasis bietet eine Ultrahochvakuumumgebung für die Verarbeitung von Substraten. Es ist mit einem Gasverteilungssystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Prozessatmosphäre ermöglicht, wodurch eine Reihe von Materialien geätzt oder adert werden können. Die Prozesskammer beinhaltet auch aktives Pumpen, um ein Vakuumniveau von 10-6 Torr aufrechtzuerhalten. Die HF-Plasmaquelle ist in der Lage, sehr hohe betriebene Plasmen in einer Reihe von Leistungsstufen zu erzeugen. Dies ermöglicht ein breites Spektrum von Materialien, von Metallen bis hin zu Dielektrika, zu ätzen oder zu aschen. Das System beinhaltet auch eine Präzisionssteuerung sowohl der Leistung als auch der Frequenz des Plasmas, so dass der Bediener den Prozess an die gewünschte Anwendung anpassen kann. Die In-situ-Wafer-Inspektionseinrichtung ermöglicht eine Echtzeitkontrolle der geätzten oder aschierten Oberfläche. Dies sorgt für konsistente Ergebnisse über Substrate unterschiedlicher Größen und Materialien. Das Gerät umfasst eine Vielzahl von Sensoren zur Messung von Parametern wie Temperatur, Druck und GASONICS L 3500 sowie Software zur Manipulation und Verwaltung von Rezepten und Parametern, um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. Insgesamt ist NOVELLUS L3500 ein leistungsstarker, präziser und durchsatzstarker Ätzer/Ascher, der sich ideal für eine Vielzahl von Abscheide- und Ätzprozessen eignet. Es ist sehr zuverlässig, einfach zu bedienen und ist entworfen, um eine Reihe von Materialien mit hoher Präzision und Durchsatz zu verarbeiten.