Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293586002 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein hochpräziser fortgeschrittener omnidirektionaler und selektiver induktiv gekoppelter Plasmaätzer (ICP) oder Ascher. Es ist ein großflächiges Trockenätzwerkzeug, das speziell entwickelt wurde, um eine hervorragende Leistung beim selektiven und omnidirektionalen Ätzen von Substraten aus verschiedenen Materialien zu liefern. Es wird auch bei der Verarbeitung einer breiten Palette von Materialien und Folien wie Silizium, Galliumantimonid und Indiumphosphid verwendet. GASONICS L 3510 gilt als einer der schnellsten Ätzer seiner Klasse. Es nutzt ein induktiv gekoppeltes Plasma, das über einen Hochfrequenzgenerator erzeugt wird. Dies ermöglicht ein effizientes und gleichmäßiges Ätzen über den gesamten Wafer. Das Werkzeug verfügt über eine einzigartige Gas-Nebel tragende Haube, die das Ätzgas gleichmäßig über die gesamte Oberfläche der Wafersubstrate verteilt. Darüber hinaus verwendet NOVELLUS L 3510 eine Hybrid-Ionen-Baugruppe, die gleichzeitig einen Ionenstrahl und ein Plasma auf Argonbasis über die Oberfläche des Wafers lenkt, um hochflexibles Ätzen zu ermöglichen. L 3510 ist mit fortschrittlichen Prozessen und Computersystemen ausgestattet, um den Ätzprozess in Echtzeit zu überwachen und zu steuern. Das Hauptbedienfeld verfügt über eine Frontend-Benutzeroberfläche und ein Back-End-System. Die Front-End-Benutzeroberfläche verwendet die grafische Benutzeroberfläche (GUI), um verschiedene Prozessparameter anzuzeigen und dem Benutzer die Einstellung zu ermöglichen. Das Backend-System misst und protokolliert immer wieder kritische Prozessdaten, um Rezepte zu optimieren und einen stark wiederholbaren, konsistenten Ätzprozess zu gewährleisten. GASONICS/NOVELLUS L 3510 verfügt über mehrere ICP-Quellen und ein eingebautes Waferkassettenladesystem für die schnelle Waferbearbeitung. Darüber hinaus kann das Werkzeug für Inline-Produktionsanwendungen automatisiert werden. Ein unabhängiger Datenkonzentrator kann alle Prozessdaten zur Fernüberwachung und Bedienung an einen Hostcomputer weiterleiten. Dies ermöglicht eine höhere Prozesssteuerung und Flexibilität sowie eine verbesserte Betriebseffizienz. GASONICS L 3510 ist ein vielseitiger, fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der hervorragende Muster- und selektive Ätzfunktionen auf Waferebene bietet. Mit diesem Tool können Anwender eine hohe Ätzgleichmäßigkeit und eine extrem kleine Funktionsgröße erzielen. Als solches ist es ein ideales Werkzeug für die Herstellung in der Halbleiter-, Solarzellen- und Flachbildschirm-Industrie.