Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche, durchsatzstarke Trockenätzanlage mit höherer Prozesskontrolle und erhöhter Produktivität. Das System wurde für eine Vielzahl von Anwendungen wie Silizium, Nitrid, Metalle und organische Materialien konzipiert. Die Zuverlässigkeit der GASONICS L 3510 Einheit basiert auf den umfassenden Erfahrungen und Technologien von GASONICS und NOVELLUS. NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher setzt auf bewährte Ätztechnologien, darunter eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) und einen Excimer (Deep UV) -Laser, um Substrate zu ätzen und zu reinigen. Es verfügt über eine Prozesskammer, die genügend Flexibilität bietet, um verschiedene Materialien zu ätzen, und verfügt über eine eingebaute Vakuummaschine, die eine Ultrahochvakuumumgebung schafft. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, dünne Filme aus Materialien, wie Silizium oder Nitrid, mit hoher Durchsatzrate durchzuätzen. Der In-situ-Kapazität-Spannungs-Monitor (CV) ermöglicht eine Echtzeit-Prozesssteuerung, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht das fortschrittliche Tool zur Temperaturregelung und Gasverteilung der Plattform eine präzise Temperatur- und Gasverteilung. L 3510 etcher/asher wird von einer Software-Suite unterstützt, die es Anwendern ermöglicht, Rezepte schnell auszuwählen und zu optimieren, was eine verbesserte Benutzererfahrung ermöglicht. Der Benutzer kann Rezepte erstellen und Parameter entsprechend den Anforderungen der Anwendung ändern. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) ist benutzerfreundlich und ermöglicht eine intuitive Bedienung. GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher ist eine ausgezeichnete Plattform für eine Vielzahl von Anwendungen in der Elektronik-, Photonik- und Halbleiterindustrie. Es verfügt über SPS-Steuerung, die hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prozessen bietet, und die Dielektrische Konstante Monitor (DFM) und Vakuum Monitor (VTM) Systeme bieten hervorragende Prozesskontrolle und Überwachungsfunktionen. Die Anlage eignet sich gut für verschiedene Waferreinigungs- und Ätzanwendungen, wie die Entfernung von thermisch gewachsenem Oxid und das flache Ätzen von Metallen. Das Modell bietet zudem eine geringe Verunreinigung beim Ätzen, was für empfindliches Material wie Aluminium oder Silber von Vorteil ist. Dank des modularen Aufbaus kann die Ausrüstung einfach aktualisiert und modifiziert werden, um den sich ändernden Bedürfnissen der Kunden gerecht zu werden.