Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die sich gut für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente eignet. Dieses System verfügt über eine Plasmaätz- und Aschekammer mit unabhängiger Chemikaliensteuerung. Darüber hinaus kann es für eine verbesserte Prozesssteuerung und Durchsatz automatisiert werden. Die chemische Steuerung dieses Geräts wird von der GASONICS patentierten Plasma Enhanced Direct Current (DC) Chemie-Steuerung angetrieben. Dieses Werkzeug sorgt für eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses, minimiert jedoch die Variabilität und verbessert die Erträge. Es ermöglicht dem Anwender auch die Auswahl der Ätzchemie für eine Vielzahl von Prozessen, wie das Ätzen von Aluminium, Zinn und Kupfer. GASONICS L 3510 kann mit verschiedenen Kammern wie einem Substratvorwärmmodul und einem Zerstäuber und Plasmaascher konfiguriert werden. Die Basiseinheit verfügt auch über eine Haustür für den Remote-Plasmabetrieb. Dazu gehören auch automatisierte Wafer-Handling-Komponenten, die ein motorisiertes Wafer-Stauverhinderungsmodul und ein optionales Lastschloss (nicht im Lieferumfang enthalten) umfassen. Das Modell unterstützt eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen, darunter Aluminium, Kupfer, Zinn, Wolfram, Polyimid, Keramik, Siliziumnitrid und Organik. Die hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit von bis zu 200 Wafern pro Stunde ist ideal für hohe Serienanforderungen. Darüber hinaus bietet diese Ausrüstung eine Reihe von Umwelt- und Sicherheitsmerkmalen wie fortschrittliche Filtration und automatisierte Brand- und Überdruckabschaltungen, die einen sicheren und produktiven Betrieb gewährleisten. Abschließend ist NOVELLUS L3510 Ätzer/Ascher ein leistungsfähiges und zuverlässiges System, das sich perfekt für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente eignet. Es bietet eine präzise Chemiesteuerung und einen hohen Durchsatz sowie eine Reihe von Funktionen, die die Prozessumgebung sicher und wiederholbar halten.