Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asher ist eine hochwertige automatisierte Ätz- und Aschehalbleiterherstellungsanlage, die für Anwendungen mit mittlerem bis hohem Durchsatz ausgelegt ist. Das System wurde entwickelt, um Photolack- und andere Trockenfilmschichten in hochdichten Schaltungsmerkmalen auf Halbleitersubstraten zu strukturieren. Es ist in der Lage, Funktionen bis zu 0,20 µm zu ätzen, mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit. Das Gerät besteht aus zwei modular aufgebauten Prozesskammern, die maximale Volumen- und Temperaturgleichmäßigkeit ermöglichen. Bewaffnet mit modernster Plasmazündung können die Kammern auf spezifische Kundenbedürfnisse zugeschnitten werden. Spezielle Ätzgase können durch die Mixed-Gas Source (MGS) Maschine eingeführt werden, was mehrstufige Prozesse mit ultrafeiner Ätzung ermöglicht. In den Prozesskammern wird eine Temperaturregelung mit einer Präzisionsregelung im Bereich von 25 bis 400 ° C erreicht. Das Tool verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-Übertragungsanlage und ist mit GASONICS proprietären „Flexiblen Verarbeitungsmodulen“ integriert, so dass der Benutzer den für seine Anwendung am besten geeigneten Prozess auswählen kann. Es integriert auch einen motorisierten Substrathandler, der ein einfaches Be- und Entladen von Substraten ermöglicht. Um die Produktivität zu maximieren und Substrate vor Kontamination zu schützen, verfügt GASONICS L 3510 über ein ausgeklügeltes automatisiertes Substrathandhabungsmodell mit optionaler Inertgasintegration zum Schutz empfindlicher Materialien. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen wie automatische Fehlererkennung, Endpunkterfassung, Prozessparameterüberwachung und Prozessoptimierungsfunktionen. Es verfügt auch über integrierte Diagnosefunktionen für effiziente Prozessstabilität und Qualitätskontrolle. Das System ist mit einer breiten Palette von Wafergrößen bis 12 Zoll kompatibel. Es unterstützt auch bis zu 20 Substrate pro Charge, was einen effizienten Produktionsdurchsatz ermöglicht. Insgesamt ist NOVELLUS L 3510 ein Hochleistungsätzer und Ascher, der in der Lage ist, feinauflösende geätzte Funktionen mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Durchsatz zu erzeugen. Der modulare Aufbau und die fortschrittliche Prozesssteuerung machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsanwendungen mit mittlerem bis hohem Durchsatz.