Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9244581 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher ist ein leistungsstarkes, kostengünstiges Werkzeug, das den Ätz-/Aschebedürfnissen moderner Technologiehersteller gerecht wird. Die 3510 wurde in Partnerschaft mit GASONICS Systems und NOVELLUS entwickelt und kombiniert fortschrittliche Ätz- und Aschetechnologien in einer einzigen Plattform, die einen hohen Durchsatz und eine zuverlässige Verarbeitung auch der fortschrittlichsten und anspruchsvollsten Halbleiterbauelemente ermöglicht. Die 3510 verfügt über eine fortschrittliche RF-Ätztechnologie, die eine präzise, gleichmäßige Ätzung bietet. Der Prozess wird durch die Schrittmotoreinstellung der Ätzvorspannung weiter verbessert, was Ätzungen von weniger als 1 Nanometer mit einer Genauigkeit und Wiederholbarkeit von 0,5 Nanometer ermöglicht. Darüber hinaus können die 3510 Wafer von Größen zwischen 50 und 300 mm verarbeiten und bieten eine Prozessfähigkeit von bis zu 12,7 Zoll oder 320 Millimeter. Die 3510 bietet auch einen Aschevorgang, der Prozessrückstände von den Halbleiteroberflächen eliminiert, wodurch gefährliche chemische Mittel entfallen. Das Gerät verwendet thermisch verbesserte Plasmaprozesse für tiefes, gezieltes Ätzen und Aschen. Der Prozess kann einfach über eine intuitive GUI-Schnittstelle gesteuert werden, die einfache Berechnungen der Einrichtungs- und Laufzeitmethoden ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über ein modernes Gaszufuhrsystem, das eine überlegene Gaskontrolle und eine gleichmäßige Abgabe schädlicher Chemikalien bietet, sowie über einen chemischen Injektor, der einen automatisierten Zyklus zur Aufnahme proprietärer Additive ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der 3510 über ein allgemeines Vakuumsystem mit einem konfigurierbaren Gasverteiler und einem zuverlässigen Pumpsystem. GASONICS L 3510 Ätzer/Ascher ist hoch automatisiert mit benutzerfreundlicher Steuerung, so dass es ein ideales Werkzeug für Ätz- und Ascheoperationen. Das Gerät ist sowohl in Ein- als auch in Dreikammerkonfigurationen erhältlich und verfügt über eine breite Palette von Optionen und Konfigurationen und ist somit für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet. Mit seinem innovativen Design, seiner hervorragenden Leistung und Zuverlässigkeit ist der 3510 ein ideales Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterherstellung.