Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein fortschrittlicher Mehrzweck-Ätzer/Ascher für MEMS, Halbleiter und Photovoltaik-Anwendungen. Es ist in der Lage, bis zu 28 Wafer pro System und bis zu 35 Wafer pro Kassette zu verarbeiten, einschließlich 200mm und 150mm Wafergrößen. GASONICS L 3510 profitiert von hervorragenden parallelen Verarbeitungsmöglichkeiten, bei denen viele Wafer gleichzeitig geätzt und adert werden. Es verwendet auch intelligente gepulste Prozesse und selektive Ätztechniken, um 3D-Strukturen mit hoher Auflösung zu erzeugen. NOVELLUS L 3510 bietet mehr als 99% Betriebszeit, gepaart mit hervorragender Nassverarbeitungsleistung, die durch hochpräzise Geschwindigkeits- und Beschleunigungsalgorithmen erreicht wird. Darüber hinaus können alle Prozesse überwacht, analysiert und detailliert berichtet werden und alle Parameter sind genau einstellbar, um eine Reihe von gewünschten Ergebnissen zu erzielen. L 3510 wurde entwickelt, um verbesserte Kühlfunktionen und die Fähigkeit zu bieten, sowohl Hochleistungs- als auch Niederleistungsquellen wie CL2, O2, SF6, Ar, He und jede Kombination von Gasen zu verarbeiten. Es bietet eine wirklich vielseitige Option für alle Arten von Ätz- und Ascheanwendungen, einschließlich Rückseitenoxid, Oxidentfernung, Graben, tiefenreaktives Ionenätzen, Trockenätzen und Tiefenätzen. Die programmierbare End-to-End-Prozessfunktion von GASONICS/NOVELLUS L 3510 ermöglicht die Einstellung und Anpassung einer ganzen Reihe von Parametern, die Flexibilität für eine genaue Verarbeitung bieten. Seine Energiequelle kann zum Ätzen und Aschen von verschiedenen Materialien wie Siliciumdioxid, Silicium, Wolfram und verschiedenen Metallen verwendet werden. GASONICS L 3510 kann Wafer im Bereich von 170mm bis 300mm Größen handhaben. Seine fortschrittlichen Hohlräume und langlebigen Plasmaprozesse machen dieses Mehrzwecksystem neben seinem programmierbaren HF-Generator zu einer idealen Wahl für viele Ätz- und Ascheanwendungen. Der Bearbeitungsprozess bleibt im Laufe der Zeit konsistent und präzise und sein Innenraum ist darauf ausgelegt, den Wartungsprozess zu verbessern. NOVELLUS L 3510 verwendet GASONICS innovative Software Toolbox, die eine leistungsstarke Echtzeitsteuerung bietet und eine vollständige Sichtbarkeit des Prozesses mit I/O-Überwachung bietet. Die Software Toolbox ermöglicht es Benutzern auch, die Prozessparameter einfach anzupassen, indem sie sie für mehrere Prozesse einstellen und eine effiziente Produktion und verbesserte Qualitätsstandards ermöglichen. Insgesamt ist L 3510 ein innovatives und leistungsstarkes Mehrzweckgerät für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Seine fortschrittlichen Funktionen und hochpräzise Geschwindigkeits- und Beschleunigungsalgorithmen machen es zu einer schnellen und zuverlässigen Wahl für Ätz- und Veraschungsanforderungen. Mit einem robusten und langlebigen Design ist GASONICS/NOVELLUS L 3510 eine ideale Wahl für verschiedene Branchen und Anwendungen.