Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ascher ist ein fortschrittlicher Plasma-basierter Ätzer, der in den Advanced IC Manufacturing Prozessen verwendet wird. Dieser fortschrittliche Ätzer ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialschichten einschließlich Silizium, Metalle und Dielektrika zu ätzen. Es wird von einem FlexEtch Advanced Etcher angetrieben, der Präzisionsätzen mit unglaublich hohen Raten bietet, indem es ein Ultratieftemperatur-Plasma bereitstellt. Mit GASONICS L 3510 Ascher erhalten Anwender mehr als nur Ätzfähigkeit, sondern auch erweiterte Prozesssteuerungs-, Überwachungs- und Analysewerkzeuge. NOVELLUS L 3510 Ascher besteht aus einer Robotersubstratdüse und einer heißen Drucksauerstoff-Plasmaquelle und hilft, den Ätzprozess mit seiner Fähigkeit zu optimieren, jede Materialschicht mit einer idealen Ätzrate zu ätzen. Seine fortschrittliche Prozesssteuerung hilft bei der Aufrechterhaltung der Ätzgleichförmigkeit, eliminiert Schatten und bietet einen Schichtausgleich, der den Bedarf an Reinigung und Trocknung nach dem Prozess reduziert. Seine fortschrittliche Workstation ist mit einem anpassbaren Controller ausgestattet, der auf eine Reihe von Prozessparametern umkonfiguriert werden kann und für erweiterte Funktionen zur Prozessüberwachung und Prozessoptimierung ausgelegt ist. Eine erweiterte Visualisierungsausrüstung ist ebenfalls enthalten, die es Benutzern ermöglicht, den Ätzprozess vor Ort zu überwachen. L 3510 asher verfügt auch über eine integrierte Materialdatenbank, eine erweiterte Prozessdatenbank und ein Rezept-Management-System, das eine schnelle Prozessumdrehung erleichtert. Die Datenbank wird mit kritischen Ätzmetriken und Rezepten geladen, aus denen Benutzer ihre Verarbeitungsrezepte auswählen und analysieren können, sodass sie ihre Gerätecharakterisierung und Pilotproduktionsergebnisse optimieren können. Darüber hinaus verfügt die Datenbank über einen integrierten Datenbank-Updater, mit dem die Datenbank für zukünftige Prozesse und Anwendungen problemlos aktualisiert werden kann. GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ascher ist auf Sicherheit ausgelegt und bietet Standardsicherheitsmerkmale wie eine Interlock-Einheit, Remote Emission Control, Off-Process-Überwachung und eine automatische Reinigungssequenz. Die Schutzmaschine umfasst außerdem einen Saugkammer-Reinigungssensor, eine Emissionsüberwachung und eine Not-Aus-Regelung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine fortschrittliche Software- und Werkzeugarchitektur zur Aufrechterhaltung sicherer Betriebsabläufe und nachgelagerter Umweltkonformität GASONICS L 3510 Ascher ist eine Kosteneffekt, zuverlässige Prozesslösung und zeichnet sich in der Halbleiterindustrie durch eine umfassende Ätzlösung mit optimaler Produktausbeute und -qualität aus.