Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher ist eine mittelgroße Trockenplasma-Ausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, gleichzeitig Ätz- und Waschscheiben zu erzeugen und so effiziente und präzise Ergebnisse zu erzielen. Dieses Werkzeug bietet einen Niederdruck-Niederenergie-Ätzprozess, der Nasschemikalien, kostspielige Prozessschritte und gefährliche Abfälle überflüssig macht. Es ist auch einfach zu implementieren und für den Einsatz in manuellen und automatisierten Produktionslinien konfigurieren. Die Ätzkammer des Systems ist aus hochentwickelter elastischer Aluminiumlegierung und Edelstahl aufgebaut und nutzt einen optimierten 15 kW HF-Generator, um Spitzenleistung zu liefern. Der Kammerdruck wird in einer Vakuumumgebung aufrechterhalten, was ein reaktives Plasmaätzen ermöglicht und das Risiko einer Partikelverschmutzung reduziert. Die Einheit ist auch in der Lage Top-down oder Bottom-up Ätzprozesse für erhöhte Genauigkeit, mit der Fähigkeit, die Größe und Richtung der Ätzung zu steuern. Darüber hinaus erzeugt die lineare Mittelstromversorgung eine konstante Spannung, die gleichmäßiges Ätzen im gesamten Wafer aufrechterhält und Kompensationsleistungszyklen entfällt. GASONICS L 3510 bietet auch eine breite Palette von Funktionen, einschließlich eines Photomasken-Lift, der automatisch eine Fotomaske hebt, um empfindliche Oberflächen zu schützen, Fernüberwachung, um den Überblick über die Produktion zu behalten, und integrierte Maschinendiagnose, um mögliche Probleme zu beheben. Darüber hinaus ermöglicht die Prozesskammer einen hohen Durchsatz und eine großflächige Ätzung ohne Schrittbedeckungsgrenze. Es ermöglicht auch minimierte Prozessvariationen und Gleichmäßigkeit, unabhängig von Materialtyp oder Konstruktion. Schließlich verfügt NOVELLUS L 3510 etcher/asher über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung und Optimierung ermöglicht, Echtzeit-Feedback bietet und zukünftige Upgrades und Wartungen ermöglicht. Das Tool ist auch für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen konzipiert, einschließlich Mikroelektronik, Bio-MEMS und LED, so dass es ein vielseitiges und effizientes Werkzeug für Ätz- und Aschebedürfnisse.