Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299007 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher ist eine Präzisionsätz- und Abscheidungsausrüstung für die fortschrittliche Verarbeitung von hochauflösenden elektronischen Schaltungen. Das System besteht aus einem Cluster von vier Abschnitten: Process Tool, Micro-Fabrication, Plasma Asher und Etcher. Alle Abschnitte werden von GASONICS L In-line Process Controller (IPC) im automatisierten Modus gesteuert. Das Prozesswerkzeug dient zur Steuerung der Gesamteinheit, einschließlich Prozessdauern, Temperaturen, Druck und Geschwindigkeiten. Es ermöglicht auch zwei verschiedene Ätztechnologien, je nach Anwendung auf dem Wafer. Die erste Technologie ist das Nassätzen, die zweite das Trockenätzen. Die Naßätztechnik wird bei der Abscheidung von Metallen auf dem Wafer eingesetzt. Sie hat den Vorteil, daß sie hochauflösende, hochringförmig geätzte Strukturen erzeugen kann. Zur Formgebung der Halbleiterbauelemente dient der Bereich Mikroherstellung der Maschine. Es verwendet ein spezielles Verfahren der „Mikroherstellung“, das es dem Bediener ermöglicht, die Komponenten des Wafers sehr präzise zu formen oder zu ätzen. Die Plasma-Ascher-Sektion wird verwendet, um den Wafer zu „reinigen“, bevor ein Ätzvorgang stattfindet. Es verwendet ein Verfahren namens „Plasma Ashing“, das das Verfahren ist, den Wafer Plasma auszusetzen, um organische Verunreinigungen und Metalloxidreste zu entfernen. Der Plasma Asher ermöglicht auch die Nachätzreinigung. Der Abschnitt Ätzer ist das Herzstück des Werkzeugs. Es ist in der Lage, hochauflösende feine Strukturen mit ausgezeichneter Seitenwanddefinition auf dem Wafer zu erzeugen. Es unterstützt Ätzprozesse wie tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE), plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) und reaktives Ionenätzen (RIE). Darüber hinaus wurde der Ätzer entwickelt, um die anspruchsvollsten Prozessrezepte mit Hilfe fortschrittlicher Mustererkennungsfähigkeiten und dreidimensionaler Projektion von Produktionsdaten zu handhaben. GASONICS L 3510 Etcher/Asher Asset ist hochgradig konfigurierbar, sodass Benutzer das Modell an ihre spezifischen Produktionsanforderungen anpassen können. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, die Geräteparameter schnell einzurichten und anzupassen. Seine fortschrittlichen Leistungsmerkmale, kombiniert mit der präzisen Ätz- und anspruchsvollen Reinigungstechnologie, machen NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher zu einem hocheffizienten und leistungsstarken Ätz- und Abscheidungssystem.