Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008 zu verkaufen

GASONICS / NOVELLUS L 3510
ID: 9299008
Wafergröße: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher ist ein leistungsstarkes, leistungsstarkes Werkzeug für Prozessschritte mit hohem Volumen und hohem Durchsatz. Die Ausrüstung verwendet fortschrittliche Ätztechnologie, um überlegene Leistung und Genauigkeit zu liefern. Das patentierte Gasfördersystem und die hocheffizienten Filter sorgen für optimale Prozessbedingungen, während die ausgeklügelte Software und die mehrsprachige Unterstützung für höchste Kontrolle und Flexibilität in einer Produktionsumgebung sorgen. Die Einheit umfasst ein Mehrgasfördermodul, bestehend aus einer Luft/Stickstoffspülung, einer Vakuumschnittstelle und vier Gasförderleitungen zur Prozessförderung. Die Maschine verfügt außerdem über ein patentiertes Mix-Boost-Verdünnungsverfahren zur besseren Immersionskontrolle, einen patentierten Auto-Refenishing-Algorithmus für reduzierte Ausfallzeiten sowie einen fortschrittlichen Ionenstrom zur Kontaminantensteuerung. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine einfache Integration in bestehende Prozesslinien mit einem optionalen HF-Modul für den Betrieb in ultra-niedrigen kV-Anwendungen. GASONICS L 3510 Ätzer bietet Präzisionsgasmischung und ein patentiertes Luft-Gas-Spülwerkzeug, das die Gasabscheidung überwacht und kompensiert und gleichzeitig die Partikelverschmutzung minimiert. Die erweiterten Konfigurationswerkzeuge unterstützen Prozessparameter, einschließlich Geschwindigkeit, Selektivität, Orientierung und Ätztiefe, und Instrumentierung ist für die Prozesssteuerung und Datenerfassung vorgesehen. Die Plattform unterstützt auch eine breite Palette von Spezialanwendungen, mit der Fähigkeit, mehrere Quenchgaslösungen zu konfigurieren und zu steuern, einschließlich reaktives Ätzen, Gasentfernung und Plasmareinigung. NOVELLUS L 3510 ist kompatibel mit bestehenden Ätzprozessen, und seine modulare Architektur sorgt für eine einfache Integration in bestehende Produktionslinien. Eine breite Palette von Schnittstellen werden unterstützt, und eine offene Plattform-Software-Suite bietet Automatisierungslösungen mit geringem Overhead für noch mehr Prozessgenauigkeit und Geschwindigkeit. L 3510 ist auf Dauer gebaut und wird durch eine dreijährige Hardware- und Software-Garantie gesichert. Alle diese Merkmale kombinieren, um GASONICS/NOVELLUS L 3510 Ätzer/Ascher zu einer idealen Lösung für die Hochdurchsatz-Verarbeitung mit hohem Volumen zu machen.
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