Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299010 zu verkaufen

GASONICS / NOVELLUS L 3510
ID: 9299010
Wafergröße: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine Ätz- und Ascheeinrichtung für die Halbleiterherstellung. Dieses umweltfreundliche System ist so konzipiert, dass es eine präzise, qualitativ hochwertige Lithographie gemäß Industriestandards und Leistungsanforderungen liefert. Mit seiner fortschrittlichen Lateralstrom-Ätz- und Aschetechnologie liefert GASONICS L 3510 maximale Ätzpassivierung und Gleichmäßigkeit auf bis zu 0,35 μ m Eigenschaften durch untere Antireflexbeschichtung. Das bordeigene Carrier-Management bietet eine präzise In-Object-Ätzsteuerung und verfügt über eine Frontplatte, die eine separate Computersteuerung überflüssig macht. NOVELLUS L 3510 ist eine modulare Einheit, die mit Anwendungen wie hohem Seitenverhältnis, hoher Selektivität und feiner Trimmung kompatibel ist. Es bietet bis zu 1,500W Leistung zum Ätzen und bis zu 600W zum Aschen für erhöhte Durchsätze großer und kleiner Funktionsgrößen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine variabel verstärkte Elektronenquelle, die eine optimale Leistung für Breitband-Anwendungen und Produktivitätsprozesse ermöglicht. Darüber hinaus umfasst L 3510 eine erweiterte Diagnose für maximale Werkzeugeinblicke und -steuerung sowie seine fortschrittliche Endura-Software zur erhöhten Prozesskontrolle. Die Endura Software ermöglicht eine effiziente Nutzung des Asset und Prozessoptimierung. Es bietet auch ein umfassendes Prozessmanagement und sichere Datenerfassungsfunktionen, wodurch das Modell sowohl vielseitig als auch nützlich ist. Die intuitive Benutzeroberfläche und Echtzeit-Kammerdiagnose von GASONICS/NOVELLUS L 3510 mit Vollfarbkammer-Illustrationen trägt ebenfalls zur Benutzerfreundlichkeit bei. Insgesamt ist GASONICS L 3510 eine fortschrittliche, zuverlässige Ätz- und Ascheausrüstung, die präzise Lithographieleistung bietet. Es ist ideal für die Halbleiterindustrie und sein zukunftsweisendes Design ist eine gute Wahl für diejenigen, die zuverlässige und effiziente Lithographieleistung suchen. Mit dem Plug-and-Play-Setup und den benutzerfreundlichen Funktionen ist NOVELLUS L 3510 eine gute Wahl für diejenigen, die ein Ätz- und Aschesystem suchen.
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