Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Ätzlösungen für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen. Es verfügt über ein hochmodernes Gas/Flüssigkeits-Zufuhrsystem, das speziell entwickelt wurde, um eine breite Palette von Chemikalien und Gasen verwenden zu können. Die Einheit kann so konfiguriert sein, dass sie präzise gesteuerte Flüssigkeits- oder Gasströme bei unterschiedlichen Drücken und Temperaturen abgibt. GASONICS L 3510 kann Halbleiterscheiben bis 200 mm Durchmesser verarbeiten. Es umfasst eine einzige Waferkassette und mehrere Transportmodule, um den Wafer von innen nach außerhalb der Prozesskammer zu bewegen. Die Maschine verwendet eine Ponderomotor-gesteuerte Plasmaquelle, um defektfreies Material mit hoher Selektivität zu ätzen. Diese Plasmaquelle kann auf mehrere verschiedene Frequenzen abgestimmt werden, um verschiedene Arten von Materialien zu ätzen. Das Tool ist auch mit mehreren anderen erweiterten Funktionen ausgestattet, wie einem Hochleistungs-HF-Generator, mehrfacher unabhängiger Zonentemperaturregelung, Echtzeit-Wafer-Ebenheitsmessung, einer erweiterten Vektor-Ionen-Quelle und einer integrierten Plasmaquelle. Es kommt auch mit einem leistungsstarken Softwarepaket, mit dem Benutzer Parameter wie Leistung, Temperatur, Gase und Chemikalien während der Ätzprozesse einfach überwachen und ändern können. Um eine überlegene Ätzleistung zu gewährleisten, ist die Anlage mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie Notöffnungs-/Schließfunktionen, Überdruck- und Kollisionsschutz, einem Sicherheitsventil mit variablem Druck und Notgasabschaltung ausgestattet. NOVELLUS L 3510 kann verschiedene Materialien, darunter Dielektrika, Metalle und Polymere, schnell und präzise ätzen. Seine hochpräzisen Ätzfähigkeiten können helfen, die Leistung von Halbleiterbauelementen zu maximieren und die Erträge in der Produktion zu verbessern. Es ist eine zuverlässige, anspruchsvolle Ätzlösung für hochvolumige, hochpräzise Operationen.