Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012 zu verkaufen
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GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein Plasmaätzer, der entwickelt wurde, um Materialien wie Metalle, Metalllegierungen, SiO2, TiO2 und SiN genau und effizient zu ätzen. Es verfügt über ein sehr zuverlässiges HF-Design mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen dank seiner offenen Architektur. Dies ermöglicht Prozesse, die eine hohe Präzision und Flexibilität erfordern. GASONICS L 3510 bietet modernste Funktionen zur Steuerung und Messtechnik von Ätzprozessen. NOVELLUS L 3510 verwendet sowohl Hochfrequenz als auch Niederfrequenz-Radiofrequenz, um einem gemusterten Wafer zu folgen, um seine Oberfläche präzise zu erstellen oder zu modifizieren. Es ist auch mit einem fortgeschrittenen Differentialmobilitätsanalysator ausgestattet, mit dem die Elektronenenergieverteilung von Ätzionen während des Ätzprozesses gemessen und das Plasma auf ein gewünschtes Ergebnis eingestellt wird. Dies trägt dazu bei, dass das Plasma den Wafer nicht zu tief oder zu dünn ätzt, was das zu ätzende Gerät oder Substrat beschädigen oder abbauen könnte. L 3510 ist mit einer Kammer ausgestattet, die sowohl im In-situ- als auch im Ex-situ-Modus arbeiten kann. In-situ-Verfahren werden typischerweise bei der Herstellung hochpräziser Teile eingesetzt, bei denen die Prozesskammer während der Bearbeitung Änderungen an der Vorrichtung vornehmen kann. Bei Ex-situ-Prozessen wird die Kammer verwendet, um Behandlungen und Beschichtungen auf das Gerät oder Substrat aufzutragen, nachdem es aus der Kammer entfernt wurde. Dies bietet schnellere und präzisere Prozesse mit reduzierter Verunreinigungschance. GASONICS/NOVELLUS L 3510 nutzt eine computergesteuerte Softwareschnittstelle, um die volle Kontrolle über die Prozessparameter und den Geräteaufbau zu ermöglichen. Es verfügt auch über einen modularen Aufbau, der es Benutzern ermöglicht, Funktionen einfach hinzuzufügen und Upgrades vorzunehmen. Damit ist GASONICS L 3510 ein sehr vielseitiges Ätzsystem, das vielfältige Ätz- und Reinigungsaufgaben bewältigen kann. NOVELLUS L 3510 ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die sicherstellen, dass das Gerät sicher arbeitet. Dazu gehört eine eingebaute Überdruckschutzmaschine, die bei plötzlichem Druckanstieg die Leistung abschaltet. Zusätzlich ist das Tool mit einem Alarm-Asset ausgestattet, das bestimmte Prozessprobleme erkennen und Korrekturen automatisch vornehmen kann. L 3510 ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Ätzmodell, das Ihnen hilft, zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Mit seinen erweiterten Funktionen und erweiterten Funktionen bietet dieses Gerät den Benutzern einen zuverlässigen und genauen Ätzprozess.
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