Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299013 zu verkaufen

GASONICS / NOVELLUS L 3510
ID: 9299013
Wafergröße: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der komplexe Musterprozesse auf einer breiten Palette von Materialien mit hoher Geschwindigkeit durchführen kann. Dieses 400-mHz-Gerät wurde speziell für mehrstufige, mehrstufige Musteranwendungen entwickelt, darunter in der Halbleiter-, Optoelektronik-, chemisch-mechanischen Polier- und biomedizinischen Industrie. GASONICS L 3510 wird mit fortschrittlichen, hochmodernen Ätz-/Aschetechnologien entwickelt und hergestellt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Das System ist mit einer breiten Palette von erweiterten Parameteroptimierungsfunktionen ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Parameter und der Auflösung ermöglichen. Das Gerät profitiert auch von einer integrierten, hochauflösenden Bildverarbeitungsmaschine, um präzise Strukturierung und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. NOVELLUS L 3510 umfasst vier Waferträger und Schnittstellenprogramme, die Waferorientierung und -management präzise steuern. Das Werkzeug ist mit einer softwaregesteuerten Kassettenaufzugsanlage zum Be- und Entladen von Substraten ausgestattet. L 3510 verfügt über ein automatisiertes Verschlussmodell zur Präzisionskontrolle der Ätz- und Aschebearbeitungsparameter. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine unabhängige Wafer-Ladeblockkammer mit rotierendem Drehtisch, die ein sauberes Aufbringen und Entfernen von Ätz- und Aschemedien ohne Exposition gegenüber der äußeren Umgebung ermöglicht. GASONICS/NOVELLUS L 3510 bietet darüber hinaus eine Vielzahl weiterer Optionen, darunter eine erweiterte Grafik-Benutzeroberfläche (GUI), Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, ein eng gekoppeltes Boot und Temperaturregelkammern. Insgesamt ist GASONICS L 3510 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, dessen Palette an fortschrittlichen Technologien es zu einer wertvollen Option für Industrien macht, die komplexe, hochpräzise Musterverfahren benötigen. Es wurde entwickelt, um Benutzern hochgenaue, wiederholbare Ergebnisse in einem Bruchteil der Zeit zu liefern, die mit herkömmlichen Ätz- und Aschwerkzeugen benötigt würde.
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