Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299014 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für Halbleiterherstellungsprozesse verwendet wird. Es ist speziell für Anwendungen mit hohem Durchsatz ausgelegt, die wiederholte kapazitiv gekoppelte Plasmaätzzyklen (CCP) erfordern. GASONICS L 3510 ist mit einem Hochleistungs-Kammerdesign und einer zweistufigen Gasförderung ausgestattet, die es ermöglicht, verbesserte Durchsatzraten anzubieten. NOVELLUS L 3510 Ätzkammer ist mit Materialien, die niedrige Temperatur kompatibel und inert zu den Hochtemperatur-Plasma während der Verarbeitung erzeugt gebaut. Diese Materialkombination sorgt für höchste Ätzgleichmäßigkeit, was zu einer verbesserten Geräteleistung führt. Darüber hinaus ermöglichen eine große Kapazität oberer elektrostatischerSpannfutter und großer Zyklusbalg eine effiziente Plasmabearbeitung. Das zweistufige Gasfördersystem besteht aus zwei getrennten Förderrohren, die es dem Ätzer ermöglichen, während der Plasmabearbeitung unterschiedliche Gase an verschiedene Bereiche der Kammer abzugeben. Dies ermöglicht eine präzisere Kontrolle des Prozesses, wodurch die Ätzgleichmäßigkeit verbessert wird. L 3510 bietet erweiterte Automatisierungsoptionen mit mehreren programmierbaren Funktionen, darunter mehrplanare Ätzverarbeitung, Multi-Gas-Emissionen und unabhängige Abflusszyklen für jede der beiden Kammern. Es verfügt auch über einen großen Touchscreen-Monitor, der Echtzeitinformationen über den Prozess bereitstellt, und eine Fernbedienungsschnittstelle, mit der ein Techniker Prozessparameter von einer entfernten Workstation aus anpassen kann. Für zusätzliche Sicherheit verfügt GASONICS/NOVELLUS L 3510 über ein integriertes Plasmadetektionssystem, das erkennen kann, wann der Prozess außer Kraft getreten ist und das System sofort abschaltet. Diese Funktion stellt sicher, dass der Prozess sicher ist und keine Beschädigung des Wafers oder des Geräts verursacht. Insgesamt ist GASONICS L 3510 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht, was höhere Durchsatzraten und eine verbesserte Geräteleistung ermöglicht. Es ist ideal für Anwendungen, in denen hohe Ätzgleichmäßigkeit kritisch ist und bietet eine verbesserte Automatisierung mit programmierbaren Funktionen.