Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine, die für die anspruchsvollen Produktionsanforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System verfügt über den Q-200 High-Speed Q-Switch, der außergewöhnliche Gleichmäßigkeit und hohe Abscheideraten bis zu 200nm/sec bietet. Das Gerät verfügt zudem über Gasbetriebsdrücke bis 75 Millibar, was einen effizienten Durchsatz bei schnelleren Prozesszyklen ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine durch ihre X-Y-Scanning-Halterung in der Lage, große Flächen auf einmal zu belichten, bis maximal 22 Watt/cm2. GASONICS L 3510 bietet mit seiner gefeierten Open-Loop Sense-and- Match™-Steuerung Prozessstabilität, die eine Echtzeiteinstellung kritischer Parameter während des Ätzprozesses ermöglicht. Dies gibt dem Benutzer die Möglichkeit, den Ätzprozess zu feinjustieren, um sicherzustellen, dass das Rezept für das bestmögliche Endprodukt optimiert ist. Darüber hinaus bietet das Tool eine intelligente Automatisierung, um die Beteiligung des Bedieners an sich wiederholenden manuellen Prozessen zu minimieren. NOVELLUS L 3510 ist auch für die Sicherheit entwickelt, mit einer Klasse M Abschirmung für minimales Risiko von Kontamination und Lärmreduzierung. Ein weiteres Sicherheitsmerkmal ist die Periskopansicht, die eine Beobachtung des Innenraums der Kammer ermöglicht. Diese Anlage ist auch mit GASONICS proprietärem µV™-Modell ausgestattet, das das Plasmapotential in Echtzeit misst und überwacht. Dadurch ist die Plasmaausrüstung vor potentiellen Kurzschlüssen durch übermäßigen Spannungsaufbau in der Prozesskammer sicher. Um die beste Leistung und maximalen Durchsatz zu gewährleisten, ist L 3510 mit der innovativen P-Integrated Cradle ausgestattet, die eine feinere Substratausrichtung und reduzierte thermische Gradienten über das Substrat ermöglicht. Dies ist ein wichtiges Merkmal beim Ätzen von Features mit hohem Seitenverhältnis, die durch Wärmeaufbau beschädigt werden könnten. Darüber hinaus verfügt das System über eine gleichmäßige Abschirmung über die X- und Y-Achse sowie isothermisierte isolierte HF/DC-Komponenten. GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine fortschrittliche und hochfähige Ätz-/Aschereinheit, die unter Berücksichtigung der Bedürfnisse der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet dem Anwender ein hohes Maß an Prozesskontrolle, ausgezeichnete Leistung und beispiellose Sicherheit. Es ist eine ideale Maschine für eine breite Palette von Prozessen, die von High-Aspect-Ratio-Ätzen bis hin zu speziellen Substraten und Prozessen reichen.